[发明专利]一种乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗装置及其使用方法

权利要求书

1.一种乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗的装置，其特征在于，包括第一气动阀门(1)，第一气动阀门(1)一端连接高压氮气输入系统，另一端连接压力变送器(2)，压力变送器(2)的输入端与第一气动阀门(1)连接，其输出端与待处理的乙硼烷气瓶(3)进行连通；

且待处理的乙硼烷气瓶(3)还与气体回收气瓶(11)的输入端进行连接，气体回收气瓶(11)的输出端与废气处理装置(5)连通；待处理的乙硼烷气瓶(3)与气体回收气瓶(11)之间设置第二气动阀门(6)，气体回收气瓶(11)与废气处理装置(5)之间设置第三气动阀门(7)；气体回收气瓶(11)放置于低温冷阱(4)中；

待处理的乙硼烷气瓶(3)同时也与废气处理装置(5)之间进行连通，且待处理的乙硼烷气瓶(3)与废气处理装置(5)间设置有第四气动阀门(8)和乙硼烷浓度检测器(9)；

第一/二/三/四气动阀门(1,6,7,8)、压力变送器(2)和乙硼烷浓度检测器(9)均与PLC控制单元(10)进行电性连接。

2.根据权利要求1所述的乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗的装置，其特征在于，气体回收气瓶(11)内部设置进气管和排气管，且进气管和排气管位置高度不同，进气管位于气瓶底部1/4-1/3处，且进气管的高度低于排气管的高度；

气体回收气瓶(11)通过进气管与待处理的乙硼烷气瓶(3)，通过排气管与废气处理装置(5)连通。

3.一种使用权利要求1-2中任意一项所述的乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗装置的方法，其特征在于，包括以下步骤，且以下步骤顺次进行：

步骤S1、开启高压氮气输入系统，采用高压氮气置换法稀释、排出待处理的乙硼烷气瓶(3)内残余气体；

步骤S2、开启低温冷阱(4)，利用低温冷阱(4)为气体回收气瓶(11)提供低温环境，以回收待处理的乙硼烷气瓶(3)内残余的乙硼烷气体；

步骤S3、待处理的乙硼烷气瓶(3)多余气体最终进入废气处理装置(5)中；

步骤S4、所述步骤S3进行完全后，向待处理的乙硼烷气瓶(3)中装入预处理溶剂，且加入量为气瓶容量的60％-70％；

步骤S5、待处理的乙硼烷气瓶(3)上装入专用阀门，然后将待处理的乙硼烷气瓶(3)放置在气瓶滚匀机上滚动30min-120分钟，使乙硼烷气瓶内壁的固体黏着物脱离、溶解在预处理溶剂中；

步骤S6、将所述步骤S5使用后的预处理溶剂倒入专用装置中进行处理后，预处理溶剂可以回用。

4.根据权利要求3所述的乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗处理的方法，其特征在于，还包括步骤S7、向待处理的乙硼烷气瓶(3)内加入去离子水进行清洗；

步骤S8、开启高压氮气输入系统，将高压氮气吹入待处理的乙硼烷气瓶(3)内壁，以排出内壁粘附的水汽。

5.根据权利要求4所述的乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗处理的方法，其特征在于，还包括步骤S9、待所述步骤S8处理完成后的气瓶恢复到室温后，用内窥镜检查内壁清洗效果。

6.根据权利要求3所述的乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗处理的方法，其特征在于，步骤S4中的预处理溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇一种或几种的混合物。

7.根据权利要求3所述的乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗处理的方法，其特征在于，所述步骤S6和步骤S7之间，还包括步骤S6′：再次接入高压氮气输入系统，关闭第二启动阀门(6)，开启第一启动阀门(1)和第四启动阀门(8)，排放支管乙硼烷气体直至浓度小于0.1ppm。

8.根据权利要求3所述的乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗处理的方法，其特征在于，所述步骤S1-S3的具体过程如下：

接入需待处理的乙硼烷气瓶(3)，开启第一气动阀门(1)、第二气动阀门(6)和第三气动阀门(7)，对气体管路进行吹扫，关闭第二气动阀门(6)和第三气动阀门(7)，打开第四气动阀门(8)，对支管进行吹扫；关闭第二气动阀门(6)和第四气动阀门(8)，打开气瓶阀和第一气动阀门(1)；

通过压力变送器(2)检测压力达到设定值时，关闭第一气动阀门(1)，打开第二气动阀门(6)和第三气动阀门(7)，待处理的乙硼烷气瓶(3)气体通过气体管路进入低温冷阱(4)中的气体回收气瓶(11)后，乙硼烷在低温状态下，留在气体回收气瓶(11)内，氮气经气体管路进入废气处理装置(5)；压力变送器(2)压力压力达到0.05MPa时，关闭第二气动阀门(6)和第三气动阀门(7)，打开第一气动阀门(1)，重复上述动作；

重复置换多次以后，关闭第二气动阀门(6)，打开第四气动阀门(8)，待处理的乙硼烷气瓶(3)通过支管进入废气处理装置(5)；如果乙硼烷浓度检测器(9)监测数值浓度大于0.1ppm，继续重复氮气置换。