[发明专利]一种微电子机械系统MEMS加速度计

说明书

本发明公开了一种微电子机械系统MEMS加速度计，包括底板和MSME加速度计本体，所述MSME加速度计本体设置于底板的上端，所述底板的上端设有壳体，所述壳体的下端与底板靠近左右两侧的上端活动卡接。本发明通过将壳体置于底板上，使得两块固定块分别插设于腔室内，并由压力弹簧带动勾型卡块插设于限位卡槽内，有效对壳体进行卡接固定，方便进行拆装，通过将电磁屏蔽片插设于若干橡胶制品的限位片之间，使得电磁屏蔽片对MSME加速度计本体提供有效电磁屏蔽，通过将防尘软片插设于矩形开口上的条形插槽内，有效对防尘软片进行限位固定，使得防尘软片配合接线通孔内的扇形挡尘片和矩形环状垫圈对壳体内的MSME加速度计本体提供有效防尘防护。

技术领域

本发明涉及MEMS加速度计技术领域，尤其涉及一种微电子机械系统MEMS加速度计。

背景技术

加速度计是一种能够测量物体加速度的惯性传感器，MEMS是将微电子技术与机械工程融合到一起的技术，MEMS加速度计就是使用MSME技术制造的加速度计，MEMS加速度计采用了微机电系统技术，具有体积小、重量轻和能耗低等优点，MEMS微加速度计包括压阻式微加速度计、电容式微加速度计和扭摆式微加速度计等。

现有的MEMS加速度计在实际使用时，其壳体不方便进行拆装，且壳体的电子屏蔽效果较差，现提出一种微电子机械系统MEMS加速度计来解决上述问题。

发明内容

本发明提出了一种微电子机械系统MEMS加速度计，用于解决背景技术中现有的MEMS加速度计在实际使用时，其壳体不方便进行拆装，且壳体的电子屏蔽效果较差的技术问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种微电子机械系统MEMS加速度计，包括底板和MSME加速度计本体，所述MSME加速度计本体设置于底板的上端，所述底板的上端设有壳体，所述壳体的下端与底板靠近左右两侧的上端活动卡接，所述底板的上端设有若干上下连通的接线通孔，所述壳体靠近顶面的内壁上设有电磁屏蔽件，所述壳体的顶面上设有散热防尘机构。

优选地，所述底板的上端固定连接有矩形环状凸起，所述MSME加速度计本体插设于矩形环状凸起内，所述矩形环状凸起与底板呈一体化成型设置。

优选地，所述壳体的下端固定连接有矩形环状垫圈，所述矩形环状垫圈的下端与底板的上端相抵接触，若干所述接线通孔的环形内壁上均固定连接有两块扇形挡尘片。

优选地，所述壳体位于左右两侧的下端均固定连接有固定块，两块所述固定块均贯穿矩形环状垫圈设置，所述底板内设有两个腔室，两个所述腔室分别位于两块固定块的下方，两块所述固定块分别贯穿两个腔室的顶面设置，两块所述固定块位于腔室内的相对侧壁上均设有限位卡槽，两个所述腔室远离接线通孔的内壁上均水平贯穿设有勾型卡块，两块所述勾型卡块分别插设于两个限位卡槽内，两个所述腔室的相对内壁上均固定连接有压力弹簧，所述压力弹簧远离腔室内壁的一端与勾型卡块固定连接。

优选地，所述电磁屏蔽件包括分别固定连接于壳体左右两侧内壁上的两块限位片，若干所述限位片之间呈两两相对设置，且靠近壳体的顶面设置，若干所述限位片之间插设有同一块电磁屏蔽片，所述电磁屏蔽片的侧壁与壳体的内壁相抵接触。

优选地，所述矩形环状垫圈、扇形挡尘片和限位片均为橡胶制品。

优选地，所述散热防尘机构设置于壳体顶面上的矩形开口，所述矩形开口的左右两侧内壁上均设有条形插槽，所述条形插槽的前后两侧内壁分别与矩形开口的前后两侧内壁无缝连接，两个所述条形插槽内插设有同一块防尘软片。

优选地，所述防尘软片靠近两个条形插槽的上端均粘合固定有柱形拉杆。

本发明与现有技术相比，其有益效果为：

1、通过将壳体置于底板上，使得两块固定块分别插设于腔室内，并由压力弹簧带动勾型卡块插设于限位卡槽内，有效对壳体进行卡接固定，方便进行拆装。