[发明专利]用于电子背散射衍射的样品台

说明书

本申请涉及用于电子背散射衍射的样品台，具体而言，涉及样品台结构领域；本申请提供的第一柱体与第二柱体连接，第二柱体的侧壁上设置有与第二柱体顶面垂直的垂直面，第二柱体的侧壁上与垂直面相对的位置设置有置物槽，置物槽靠近第二柱体顶面的侧壁为喇叭状结构，置物槽靠近第一柱体的侧壁为弧面，置物槽靠近第一柱体的侧壁上设置有螺孔，螺孔的另一端延伸到第二柱体的侧壁上，螺孔的轴线设置在置物槽的底面内，螺栓螺接在螺孔中；当需要对样品进行扫描时，在该置物槽底部的面上涂覆导电胶，并将样品设置在该置物槽的底面上，拧动螺栓使得螺栓将该样品固定在该置物槽中，使得扫描得到的高分辨率EBSD图像上不产生锯齿，进而增加数据的可靠性。

技术领域

本申请涉及样品台结构领域，具体而言，涉及一种用于电子背散射衍射的样品台。

背景技术

电子背散射衍射(简称EBSD)技术在保留扫描电子显微镜常规特点的同时能够进行空间分辨率亚微米级的衍射，是材料研究中一种有效的分析手段。EBSD测试要求将样品固定到具有70度的斜面的样品台上，以方便探头对样品表面的信息进行采集。

现有技术是通过导电胶将样品粘到斜面上，然后对样品进行扫描，以获取高分辨率EBSD图像。

但是，由于高分辨率EBSD图像的获取需要较长的时间，使用导电胶将该样品粘贴在样品台上，由于对样品扫描的过程需要较长时间，在扫描样品的过程中由于重力的作用，会使得该样品发生微弱的移动，就会使得高分辨率EBSD图像上产生锯齿，使得数据的可靠性降低。

发明内容

本发明的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种用于电子背散射衍射的样品台，以解决现有技术中由于高分辨率EBSD图像的获取需要较长的时间，使用导电胶将该样品粘贴在样品台上，由于对样品扫描的过程需要较长时间，在扫描样品的过程中由于重力的作用，会使得该样品发生微弱的移动，就会使得高分辨率EBSD图像上产生锯齿，使得数据的可靠性降低的问题。

为实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请提供一种用于电子背散射衍射的样品台，样品台包括：第一柱体、第二柱体和螺栓；第一柱体与第二柱体连接，第二柱体的侧壁上设置有与第二柱体顶面垂直的垂直面，第二柱体的侧壁上与垂直面相对的位置设置有置物槽，置物槽的底面所在平面与垂直面的夹角为锐角，置物槽靠近第二柱体顶面的侧壁为喇叭状结构，且喇叭状结构靠近第一柱体一侧的横截面大于远离第一柱体一侧的横截面，置物槽靠近第一柱体的侧壁与第二柱体的顶面平行，置物槽靠近第一柱体的侧壁上设置有螺孔，螺孔的一端延伸到第二柱体的侧壁上，螺孔的另一端延伸到置物槽的底面上，且螺孔的轴线设置在置物槽的底面内，且螺孔的轴线与垂直面和置物槽的底面的重合线垂直，螺栓螺接在螺孔中。

可选地，该第一柱体的直径为3mm～3.2mm，第二柱体直径为12mm～15mm。

可选地，该置物槽的底面与垂直面的夹角为70度。

可选地，该第一柱体和第二柱体的材料均为导电材料。

可选地，该第一柱体和第二柱体的材料均为高纯度黄铜。

可选地，该第一柱体的侧壁上设置有第二垂直面，第二垂直面与垂直面相互平行。

可选地，该螺栓为平端紧定螺钉。

本发明的有益效果是：