[发明专利]一种弹性波谐振器及其制备方法

权利要求书

1.一种弹性波谐振器，其特征在于，所述弹性波谐振器至少包括：

支撑衬底；

压电层，形成于所述支撑衬底的上表面；

叉指电极，形成于所述压电层的上表面；

反射增强结构，至少形成于所述叉指电极的左右两侧，且形成于所述压电层的上表面及/或所述压电层中。

2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述反射增强结构包括：加厚反射栅或嵌入反射栅；其中，

所述加厚反射栅包括：反射栅电极和至少一层电极加厚层，所述反射栅电极形成于所述叉指电极的左右两侧，且形成于所述压电层的上表面，所述电极加厚层形成于所述反射栅电极的上表面；

所述嵌入反射栅包括：反射栅电极，形成于所述叉指电极的左右两侧，且至少部分嵌入所述压电层中；或者，

所述嵌入反射栅包括：反射栅电极和至少一层电极加厚层，所述反射栅电极形成于所述叉指电极的左右两侧，所述电极加厚层形成于所述反射栅电极的上表面，所述反射栅电极和所述电极加厚层至少部分嵌入所述压电层中。

3.根据权利要求2所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述反射增强结构还包括：栅电极指间槽和汇流条侧槽中的至少一种；其中，所述栅电极指间槽形成于所述反射栅电极的相邻两电极指之间，且形成于所述压电层中；所述汇流条侧槽形成于所述叉指电极的前后两侧，且形成于所述压电层中。

4.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述反射增强结构包括：反射栅电极，形成于所述叉指电极的左右两侧，且形成于所述压电层的上表面；所述反射增强结构还包括：栅电极指间槽和汇流条侧槽中的至少一种；其中，所述栅电极指间槽形成于所述反射栅电极的相邻两电极指之间，且形成于所述压电层中；所述汇流条侧槽形成于所述叉指电极的前后两侧，且形成于所述压电层中。

5.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述反射增强结构包括：反射槽，形成于所述叉指电极的左右两侧，且形成于所述压电层中；所述反射槽包括至少一个槽体，在所述槽体数量大于1个时，多个所述槽体沿垂直于所述叉指电极的电极指方向呈周期性排布。

6.根据权利要求5所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述反射增强结构还包括：汇流条侧槽，形成于所述叉指电极的前后两侧，且形成于所述压电层中。

7.根据权利要求6所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述汇流条侧槽与所述反射槽连通。

8.一种弹性波谐振器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

提供一中间结构，其中，所述中间结构包括：支撑衬底及形成于所述支撑衬底上表面的压电层；

于所述压电层上表面形成叉指电极，并于所述压电层上表面及/或所述压电层中形成反射增强结构，其中，所述反射增强结构至少形成于所述叉指电极的左右两侧。

9.根据权利要求8所述的弹性波谐振器的制备方法，其特征在于，形成所述叉指电极和所述反射增强结构的方法包括：

于所述压电层的上表面形成叉指电极和反射栅电极，并于所述反射栅电极的上表面形成至少一层电极加厚层，其中，所述反射栅电极形成于所述叉指电极的左右两侧；或者，

于所述压电层中形成嵌入槽，之后于所述压电层的上表面形成叉指电极，同时于所述嵌入槽中形成反射栅电极，其中，所述反射栅电极形成于所述叉指电极的左右两侧；或者，

于所述压电层中形成嵌入槽，之后于所述压电层的上表面形成叉指电极，同时于所述嵌入槽中形成反射栅电极，最后于所述反射栅电极的上表面形成至少一层电极加厚层，其中，所述反射栅电极形成于所述叉指电极的左右两侧。

10.根据权利要求9所述的弹性波谐振器的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：于所述压电层中形成栅电极指间槽及/或汇流条侧槽的步骤；其中，所述栅电极指间槽形成于所述反射栅电极的相邻两电极指之间；所述汇流条侧槽形成于所述叉指电极的前后两侧。