[发明专利]一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法在审
| 申请号： | 202110661698.1 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113504705A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王丹丹;张雪峰;张鉴 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30;G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 何俊 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 湿度 可调 凝胶 多彩 结构 制备 方法 | ||
1.一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
a)在衬底上先沉积底层金属层，再均匀旋涂聚乙烯醇溶液，形成中间层聚乙烯醇水凝胶层；
b)对步骤a)的产物进行电子束曝光，水洗，被辐照的区域不被水溶解，形成纳米结构；
c)在步骤b)得到的纳米结构上再沉积上层金属层，得到由所述底层金属层、中间层、上层金属层组成的水凝胶纳米结构，在湿度装置的调控下产生不同的颜色响应。
2.根据权利要求1所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤a)所述衬底为硅片衬底、金属薄膜、氧化物薄膜或有机薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤a)所述底层金属层的厚度为100-300nm。
4.根据权利要求1所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤a)所述聚乙烯醇溶液为6％-10％聚乙烯醇水溶液。
5.根据权利要求1或4所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤a)所述聚乙烯醇的分子量为10000～26000g/mol。
6.根据权利要求1所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤a)所述旋涂的匀胶转速为2000-4000转/分。
7.根据权利要求1所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤a)所述聚乙烯醇水凝胶层的厚度为100-300nm。
8.根据权利要求1所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤b)所述电子束曝光的操作条件为：高压2-10kv、光栅尺寸20-30μm、辐射剂量300～1500μC/cm2。
9.根据权利要求1或3或7所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤c)所述上层金属层的厚度为5-36nm。
10.根据权利要求9所述的一种湿度可调的水凝胶多彩结构色制备方法，其特征在于，步骤c)所述上层金属层的厚度为14nm。
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