[发明专利]退火石英玻璃布及其制造方法

权利要求书

1.一种退火石英玻璃布，其通过对石英玻璃布实施热处理而得到，所述退火石英玻璃布的特征在于，

SiO₂含量为99.5质量％以上且10GHz下的介电损耗角正切小于0.0010，布的每单位面积重量(g/m²)的拉伸强度为1.0N/25mm以上。

2.根据权利要求1所述的退火石英玻璃布，其特征在于，所述介电损耗角正切为0.0008以下。

3.根据权利要求1所述的退火石英玻璃布，其特征在于，布的每单位面积重量(g/m²)的所述拉伸强度为1.2N/25mm以上。

4.根据权利要求2所述的退火石英玻璃布，其特征在于，布的每单位面积重量(g/m²)的所述拉伸强度为1.2N/25mm以上。

5.根据权利要求1所述的退火石英玻璃布，其特征在于，硅烷醇基(Si-OH)浓度为300ppm以下。

6.根据权利要求2所述的退火石英玻璃布，其特征在于，硅烷醇基(Si-OH)浓度为300ppm以下。

7.根据权利要求3所述的退火石英玻璃布，其特征在于，硅烷醇基(Si-OH)浓度为300ppm以下。

8.根据权利要求4所述的退火石英玻璃布，其特征在于，硅烷醇基(Si-OH)浓度为300ppm以下。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的退火石英玻璃布，其特征在于，碱金属含量的总和为10ppm以下，硼和磷各自的含量为1ppm以下，铀和钍的含量分别为0.1ppb以下。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的退火石英玻璃布，其特征在于，依据JIS K5600-5-1的涂料一般试验方法的耐弯曲性，用直径为2.5mm以上的心轴将石英玻璃布弯折或折叠180度时，没有断裂和弯折痕迹。

11.根据权利要求9所述的退火石英玻璃布，其特征在于，依据JIS K5600-5-1的涂料一般试验方法的耐弯曲性，用直径为2.5mm以上的心轴将石英玻璃布弯折或折叠180度时，没有断裂和弯折痕迹。

12.一种退火石英玻璃布的制造方法，其特征在于，以500℃～1500℃的温度对石英玻璃布进行加热处理后，用蚀刻液对所述加热处理后的石英玻璃布的表面进行蚀刻处理，从而制成退火石英玻璃布，该退火石英玻璃布在10GHz下的介电损耗角正切小于0.0010且布的每单位面积重量(g/m²)的拉伸强度为1.0N/25mm以上。

13.根据权利要求12所述的退火石英玻璃布的制造方法，其特征在于，作为所述蚀刻液，使用选自氢氟酸水溶液、氟化铵水溶液、氢氧化钠水溶液、氢氧化钾水溶液、碳酸钠水溶液、氨水、碱性电解水中的水溶液。

14.根据权利要求12所述的退火石英玻璃布的制造方法，其特征在于，作为所述蚀刻液，使用pH值为11以上的碱性水溶液。

15.根据权利要求14所述的退火石英玻璃布的制造方法，其特征在于，作为所述碱性水溶液，使用pH值为12以上的碱性电解水。

16.根据权利要求12～15中任一项所述的退火石英玻璃布的制造方法，其特征在于，以连续过程进行所述蚀刻处理。

17.根据权利要求12～15中任一项所述的退火石英玻璃布的制造方法，其特征在于，进一步对所述蚀刻处理后的石英玻璃布的表面进行偶联剂处理。

18.根据权利要求16所述的退火石英玻璃布的制造方法，其特征在于，进一步对所述蚀刻处理后的石英玻璃布的表面进行偶联剂处理。