[发明专利]标记位置设定方法及装置

权利要求书

1.一种标记位置设定方法，其特征在于，用于确定掩膜板标记的设定位置，所述标记位置设定方法包括：

获取成膜区位置参数；

根据所述成膜区位置参数在预设基板上确定第一候选标记区域；

获取占据物位置参数；

根据所述占据物位置参数，在所述第一候选标记区域内确定第二候选标记区域；

获取坐标约束参数；

基于所述坐标约束参数，在所述第二候选标记区域内确定标记位置参数；

根据所述标记位置参数确定标记的设定位置；

其中，根据所述成膜区位置参数在预设基板上确定第一候选标记区域的步骤，包括：将所述成膜区位置参数在预设基板上对应成膜区域确定为第一候选标记区域；根据所述占据物位置参数，在所述第一候选标记区域内确定第二候选标记区域的步骤，包括：根据所述占据物位置参数确定占据物的占据区域；从所述第一候选标记区域内去除所述占据物的占据区域，得到所述第二候选标记区域。

2.根据权利要求1所述的标记位置设定方法，其特征在于，所述获取成膜区位置参数的步骤，包括：

获取所述预设基板的边缘尺寸参数；

获取边缘保证区的尺寸参数；

根据所述预设基板的边缘尺寸参数和所述边缘保证区的尺寸参数，确定所述成膜区位置参数。

3.根据权利要求1所述的标记位置设定方法，其特征在于，所述获取占据物位置参数的步骤，包括：

在所述第一候选标记区域内检测标记占据物；

计算所述标记占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据；

根据所述标记占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据确定占据物位置参数。

4.根据权利要求1所述的标记位置设定方法，其特征在于，所述获取占据物位置参数的步骤，包括：

在所述第一候选标记区域内检测器件占据物；

计算所述器件占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据；

根据所述器件占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据确定占据物位置参数。

5.根据权利要求1所述的标记位置设定方法，其特征在于，所述坐标约束参数包括横向坐标约束参数，所述基于所述坐标约束参数，在所述第二候选标记区域内确定标记位置参数的步骤，包括：

根据所述横向坐标约束参数，确定标记的横向坐标；

根据所述标记的横向坐标确定所述标记位置参数。

6.根据权利要求5所述的标记位置设定方法，其特征在于，所述坐标约束参数还包括纵向坐标约束参数，所述基于所述坐标约束参数，在所述第二候选标记区域内确定标记位置参数的步骤，还包括：

根据所述纵向坐标约束参数，确定标记的纵向坐标；

根据所述横向坐标和所述纵向坐标确定所述标记的位置参数。

7.根据权利要求1所述的标记位置设定方法，其特征在于，所述坐标约束参数包括双向坐标约束参数，所述基于所述坐标约束参数，在所述第二候选标记区域内确定标记位置参数的步骤，还包括：

根据所述双向坐标约束参数，确定标记的横向坐标和标记的纵向坐标；

根据所述标记的横向坐标和所述标记的纵向坐标，确定所述标记位置参数。

8.根据权利要求1所述的标记位置设定方法，其特征在于，所述获取坐标约束参数的步骤还包括：

获取标记数量参数和坐标范围参数；

所述基于所述坐标约束参数，在所述第二候选标记区域内确定标记位置参数的步骤包括：

基于所述坐标约束参数、所述标记数量参数和所述坐标范围参数，在所述第二候选标记区域内确定所述标记位置参数。

9.一种标记位置设定装置，其特征在于，用于确定掩膜板标记的设定位置，所述标记位置设定装置包括：

第一获取模块，用于获取成膜区位置参数；

第一确定模块，用于根据所述成膜区位置参数在预设基板上确定第一候选标记区域；

第二获取模块，用于获取占据物位置参数；

第二确定模块，用于根据所述占据物位置参数，在所述第一候选标记区域内确定第二候选标记区域；

第三获取模块，用于获取坐标约束参数；

第三确定模块，用于基于所述坐标约束参数，在所述第二候选标记区域内确定标记位置参数；

第四确定模块，用于根据所述标记位置参数确定标记的设定位置；

其中，第一确定模块具体用于将所述成膜区位置参数在预设基板上对应成膜区域确定为第一候选标记区域；第二确定模块具体用于根据所述占据物位置参数确定占据物的占据区域；从所述第一候选标记区域内去除所述占据物的占据区域，得到所述第二候选标记区域。