[发明专利]一种便捷式光刻胶打胶装置在审
申请号: | 202110643357.1 | 申请日: | 2021-06-09 |
公开(公告)号: | CN113351425A | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 汪钢;傅立超 | 申请(专利权)人: | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05C11/11 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 高凌 |
地址: | 315400 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便捷 光刻 胶打胶 装置 | ||
1.一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,包括压力罐、位于压力罐内的用以装胶水的胶杯、位于压力罐上的进气口、通过进气口输入氮气的加压机构、一端插入压力罐并位于胶杯内的出胶管、位于出胶管上的回吸阀。
2.根据权利要求1所述的一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,所述压力罐包括罐体、用以密封罐体的盖子、用以将盖子固定在罐体上的固定机构。
3.根据权利要求2所述的一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,所述盖子一端和罐体铰接;
所述固定机构为穿过盖子另一端并且用以和罐体螺纹连接的固定螺栓。
4.根据权利要求3所述的一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,所述出胶管和穿过盖子并和盖子可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,所述盖子上孔洞,所述孔洞下端设有用以夹持出胶管的橡胶套,所述橡胶套的一侧设有槽口,从而使得橡胶套的横截面呈C字形。
6.根据权利要求1所述的一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,所述盖子上设有泄压阀;
所述泄压阀包括固接在压力罐外侧的阀体、位于阀体一端的滑槽、滑动连接在滑槽内的堵头、位于滑槽槽底的容纳槽、位于容纳槽内的用以对堵头施加朝向容纳槽的力的弹簧、位于阀体内的气道;
所述气道一端和压力罐内部连通,所述气道另一端位于滑槽一侧而被堵头封堵,所述滑槽一侧设有被堵头封堵的出气口。
7.根据权利要求1所述的一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,所述出胶管远离压力罐的一端连接有出胶头;
所述出胶头包括头体、位于头体内的胶道、和胶道一端连接的若干胶嘴;
所述胶嘴呈直线阵列布置,所述胶道的横截面呈长圆形。
8.根据权利要求1所述的一种便捷式光刻胶打胶装置,其特征在于,所述压力罐内设有便于取出胶杯的提篮,所述胶杯位于提篮内。
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