[发明专利]一种防静电抛光层、抛光垫及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种防静电抛光层，其特征在于，由如下按质量百分比计的原料制备得到：

聚氨酯预聚物1%~30%；

磨粒40%~96%；

抗静电的导电物质1%~10%；

交联剂1%~10%；

多孔氧化锆1%~10%；

所述抗静电的导电物质为易电解盐类颗粒；

所述易电解盐类颗粒为可以在抛光液中电解的强电解质，所述强电解质为碱金属或碱土金属的碳酸盐、碱金属或碱土金属的硫酸盐、碱金属或碱土金属的卤素盐中的一种或多种；

所述抛光层工作表面含有凸台以及凸台形成的沟槽，所述凸台形成的沟槽为放射线型。

2.如权利要求1所述防静电抛光层，其特征在于，所述抛光层的表面硬度为肖氏硬度50D~70D。

3.如权利要求1所述防静电抛光层，其特征在于，所述磨粒为金刚石、二氧化硅、碳化硼、白刚玉中的一种或多种。

4.如权利要求1所述防静电抛光层，其特征在于，所述交联剂为3,3'-二氯-4,4'-二氨基二苯基甲烷或二甲硫基甲苯二胺。

5.如权利要求1所述防静电抛光层，其特征在于，所述聚氨酯预聚物选自环氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯中的一种或多种。

6.权利要求1~5任一项所述防静电抛光层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1. 分别制备包含聚氨酯预聚物的第一原料组合物、包含固化剂的第二原料组合物、包含抗静电的导电物质的第三原料组合物以及包含磨粒的第四原料组合物；所述第一原料组合物的制备方法为将聚氨酯预聚物在真空状态下预热，然后将聚氨酯预聚物、多孔氧化锆、交联剂搅拌混合；

S2. 将所述第一原料组合物、第二原料组合物、第三原料组合物、第四原料组合物混合以制备原料混合物；

S3. 将所述原料混合物注入模具中固化，再经硫化和切片得到抛光层。

7.一种抛光垫，其特征在于，包括：基体层，所述基体层包括弹性衬底层和制备在弹性衬底层上的刚性层；权利要求1~5任一所述防静电抛光层，所述抛光层制备在所述刚性层上；所述抛光层和刚性层以及弹性衬底层和刚性层均通过粘结剂粘结。

8.权利要求7所述抛光垫在晶圆抛光中的应用。