[发明专利]一种光斑直径检测系统、方法及光斑能量分布检测方法

权利要求书

1.一种光斑直径检测系统，其特征在于：包括探测环(2)和设置在所述探测环(2)内部的探测器(5)，所述探测环(2)上沿其周向开设有若干个狭缝(201)。

2.一种基于权利要求1所述的一种光斑直径检测系统，其特征在于：所述探测环(2)上还设置有用于驱动所述探测环(2)绕其中心进行转动的驱动结构(3)。

3.一种基于权利要求2所述的一种光斑直径检测系统，其特征在于：所述探测环(2)上的若干狭缝(201)与探测环(2)的中心轴线之间分别为不同的夹角。

4.一种基于权利要求1-3中任一项权利要求所述的检测系统的光斑直径检测方法，其特征在于：待测光线(6)从固定位置一向探测环(2)的外侧壁投射光斑，所述探测环(2)绕其中心匀速旋转，探测器(5)接收通过不同位置的狭缝(201)透射过来的光线并生成时域波形图。

5.一种基于权利要求4所述的一种光斑直径检测方法，其特征在于：所述检测方法还包括初始参数确定步骤，所述初始参数确定步骤包括调整所述固定位置一与探测环(2)之间的距离，以使待测光线(6)的光斑能够完全投射到探测环(2)的外侧壁，且待测光线(6)的光斑在没有探测环(2)遮挡的情况下能够完全被探测器(5)接收，以及，确定所述探测环(2)上不同狭缝(201)之间的距离和狭缝(201)的角度，使光斑在任一时刻不会同时投射到两个狭缝(201)上，并使探测环(2)在测试之初的相对位置唯一确定。

6.一种基于权利要求5所述的一种光斑直径检测方法，其特征在于：检测方法还包括探测器(5)将生成的时域波形图传送至计算单元进行分析计算，所述计算单元配置有直径计算步骤，直径计算步骤包括提取时域波形图中的每个脉冲波的起始时刻和末端时刻，并依据探测环(2)的初始位置、探测环(2)的直径、探测环(2)的转动速度，以及狭缝(201)之间的距离和狭缝(201)的角度，计算出光斑的若干组切线，并计算得出与若干切线均相切的光斑图像的直径大小。

7.一种基于权利要求6所述的一种光斑直径检测方法，其特征在于：按照每组切线在探测环(2)上所对应的弧度长度与所对应的弦长之比，对在探测环(2)上得到的光斑图像进行等比例缩放生成平面光斑图像的直径大小。

8.一种基于权利要求7所述的一种光斑直径检测方法，其特征在于：光斑投射方向与所述探测环(2)的外表面相垂直。

9.一种基于权利要求8所述的一种光斑直径检测方法，其特征在于：若干所述狭缝(201)沿探测环(2)的中心轴线方向的投影长度均大于光斑的最大直径。

10.一种光斑能量分布检测方法，其特征在于：待测光线(6)从固定位置一向探测环(2)的外侧壁投射光斑，探测环(2)内部设有位置固定的探测器(5)，且探测环(2)上沿其周向开设有若干个狭缝(201)，若干所述狭缝(201)与探测环(2)的中心轴线之间分别为不同的夹角，控制探测环(2)绕其中心匀速旋转，探测器(5)接收通过不同位置的狭缝(201)透射过来的光量并生成能量波形图。