[发明专利]洁净室净化空调系统及洁净厂房

说明书

本申请公开了一种洁净室净化空调系统及洁净厂房。该系统包括新风处理机组，新风处理机组包括壳体、一级加热器和二级加热器，壳体具有进风口和出风口，且沿新风处理机组的进风路径，一级加热器和二级加热器依次设置于壳体内；用于设置于洁净室回风通道中的干式冷却器；用于连通干式冷却器出水口与二级加热器进水口的第一管路组件，第一管路组件用于将干式冷却器出水口的液体输送至二级加热器的进水口；用于连通干式冷却器的进水口与二级加热器的出水口的第二管路组件，第二管路器件用于将二级加热器出水口的液体输送至干式冷却器的进水口；用于设置于洁净室顶部的风机过滤器机组。减轻了洁净室空气处理过程中冷热抵消的现象。

技术领域

本申请涉及集成电路厂房和平板显示器厂房技术领域，尤其涉及一种洁净室净化空调系统及洁净厂房。

背景技术

随着集成电路朝着加工精细化方向发展，迫使为之服务的洁净室也向温湿度控制高精度和高洁净度方向发展。目前，该类洁净室的净化空调系统通常采用新风处理机组、风机过滤器机组和干式冷却器的组合形式，其运行特点是：新风处理机组为保证洁净室内的相对湿度和正压值，需要将大量室外新风经过滤、冷却或加湿和加热后送入洁净室；同时，由于洁净室内满布了全年散发热量的工艺生产设备，为了保持洁净室内的环境温度，需要大量的冷水供给干式冷却器，以抵消工艺生产设备发热，且该类厂房的洁净室几乎无外围护结构，洁净室内的冷负荷与室外气象条件几乎无关，而仅与室内的工艺生产设备发热相关，所以干式冷却器需要全年供给冷水。

对于集成电路厂房洁净室的新风处理系统，夏季需要供给冷水，以对室外进入的空气进行冷却和去湿；冬季需要供给热水，以对室外进入的空气进行加热，然后再加湿；至于过渡季则根据室外空气的露点温度进行冷却和去湿，或加热和加湿运行，以保证新风处理机组出口处的空气露点温度全年保持在满足工艺生产要求的温度，如9.5℃左右。

由于洁净室排风量很大，为保证洁净室正压，补充的新风量必须大于排风量。由此，需要大量经新风处理机组处理后的低温(如9.5℃左右)新风直接送入洁净室的回风通道，再通过洁净室顶部的风机过滤器机组送入洁净室内。同时，集成电路厂房洁净室对温度有很高的控制精度要求，通常温度控制精度为±0.3℃～±1℃，温度基准要求为22℃～23℃。

然而，由于低温新风的风量比较大，新风量通常达到了房间换气次数20次左右，如此多的低温新风直接送入洁净室，难以保证洁净室的高精度温度控制要求，所以在实际工程运行中通常对洁净室的新风处理系统的加热器供给热水，将前级功能段处理到9.5℃左右的空气加热到16℃～20℃，再送入洁净室，以保证洁净室内的温度控制精度要求。由此，洁净室的新风处理系统的加热器全年需要供给热水，与此同时，洁净室的循环空气处理系统的干式冷却器全年需要供给冷水，这样就导致洁净室的空气处理过程出现了冷热抵消的不合理现象，能耗增加。

发明内容

本申请实施例提供一种洁净室净化空调系统及洁净厂房，以解决洁净室的空气处理过程存在冷热抵消不合理的问题。

一方面，本申请实施例提出了一种洁净室净化空调系统，包括：新风处理机组，新风处理机组包括壳体、一级加热器和二级加热器，壳体具有进风口和出风口，且沿新风处理机组的进风路径，一级加热器和二级加热器依次设置于壳体内；用于设置于洁净室回风通道中的干式冷却器；用于连通干式冷却器的出水口与二级加热器的进水口的第一管路组件，第一管路组件用于将干式冷却器出水口的液体输送至二级加热器的进水口；用于连通干式冷却器的进水口与二级加热器的出水口的第二管路组件，第二管路器件用于将二级加热器出水口的液体输送至干式冷却器的进水口；用于设置于洁净室顶部的风机过滤器机组。

根据本申请实施例的一个方面，第一管路组件包括：热水供水管路；设置于热水供水管路用于泵送热水供水管路内液体的循环水泵。

根据本申请实施例的一个方面，热水供水管路包括用于调节热水供水管路内液体温度的加热组件。