[发明专利]一种具有泄压功能的密封坩埚及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110631772.5 申请日: 2021-06-07
公开(公告)号: CN113333045B 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: 申恬;王莉;梁宵月;何向明 申请(专利权)人: 北京牡丹电子集团有限责任公司数字科技中心
主分类号: B01L3/04 分类号: B01L3/04
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 吴佳
地址: 100191 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 功能 密封 坩埚 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种具有泄压功能的密封坩埚,其特征在于,包括锅体和锅盖,所述锅盖上形成有用于泄压的气道,所述锅盖上设有能够受压形变的泄压部,所述锅盖处于初始状态时,所述气道被所述泄压部封闭在锅盖上;所述锅盖受压时,所述泄压部发生形变使气道打开泄压;所述气道包括在所述锅盖上形成的开口,所述泄压部包括在所述锅盖上形成的受压变形结构,所述开口位于所述受压变形结构上;所述锅盖处于初始状态时,所述受压变形结构上的开口封闭;所述锅盖受压时,所述受压变形结构形成曲面结构,所述开口被打开泄压。

2.根据权利要求1所述一种具有泄压功能的密封坩埚,其特征在于,所述开口包括十字型开口、一字型开口、米字型开口、百叶窗型开口、双鳃型开口、四鳃型开口、锯齿型开口、平齿型开口、波浪型开口、三叶草型开口或双弧型开口中的一种或多种。

3.一种权利要求1或2所述具有泄压功能的密封坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在所述锅盖上采用气体冲压形成曲面结构;保持所述曲面结构的形状,并在所述曲面结构上形成所述开口;将所述曲面结构平整化,使所述开口闭合,即得到所述具有泄压功能的密封坩埚。

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