[发明专利]一种3D打印集成数字微流控芯片结构及制造方法在审

专利信息
申请号: 202110630566.2 申请日: 2021-06-07
公开(公告)号: CN113368914A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 陈小军;胡翠雯 申请(专利权)人: 岭南师范学院
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00;B29C64/10
代理公司: 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 代理人: 韩迎之
地址: 524048 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 打印 集成 数字 微流控 芯片 结构 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种3D打印集成数字微流控芯片结构,其特征在于,所述数字微流控芯片包括:上、下极板两部分,所述上极板为疏水化的电极;所述下极板包括依次连接的基底板、介电层、疏水层以及3D微结构层;所述基底板包括依次连接的基底层以及电极层。

2.一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,包括:

S10:预先制作基底板,将所述基底板作为数字微流控芯片的第一基底层;

S20:在所述第一基底层的基础上通过3D打印得到介电层;

S30:在所述介电层的基础上通过3D打印构建疏水层;

S40:在所述疏水层的基础上通过3D打印构建3D微结构层。

3.根据权利要求2所述的一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,所述步骤S20至S40依次通过3D打印一步式集成打印在所述第一基底层上。

4.根据权利要求2所述的一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,所述步骤S10预先制作基底板包括:

S11:通过3D打印沉积得到基底层;

S12:在所述基底层基础上通过3D打印构建电极结构,得到电极层,并将所述电极层作为基底板。

5.根据权利要求3所述的一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,所述疏水层为3D阵列超疏水微结构层。

6.根据权利要求4所述的一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,所述基底层使用的材质为:玻璃、PCMS、PVA、PA、光敏树脂任一种或任几种。

7.根据权利要求4所述的一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,所述电极层的材料包括:铬、银、铜、镓中的任一种或任几种。

8.根据权利要求2所述的一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,所述介电层材料为硅胶、光敏树脂、SU8光刻胶、聚二甲基硅氧烷、聚乙烯醇以及聚酰亚胺中的任一种或任几种。

9.根据权利要求8所述的一种3D打印集成数字微流控芯片的制造方法,其特征在于,所述介电层打印成任意厚度。

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