[发明专利]金属成膜部件及其制造方法、波长变换部件、发光装置

权利要求书

1.一种金属成膜部件的制造方法，其包括如下工序：

准备复合陶瓷部件工序，所述复合陶瓷部件具有陶瓷部件、以及与所述陶瓷部件连接的连接部件，所述连接部件与贵金属的附着力比所述陶瓷部件与贵金属的附着力大；

在表面区域设置贵金属膜的工序，所述表面区域至少包含所述陶瓷部件的一部分的表面以及所述连接部件的一部分的表面；

除去所述贵金属膜的工序，在所述复合陶瓷部件的所述表面区域设置的所述贵金属膜中，以所述陶瓷部件和所述连接部件的交界为界，除去在所述陶瓷部件表面上设置的所述贵金属膜。

2.如权利要求1中所述的金属成膜部件的制造方法，其中，

准备所述复合陶瓷部件的工序中，所述陶瓷部件为第一陶瓷部件，所述连接部件为第二陶瓷部件，并且，所述第一陶瓷部件与所述第二陶瓷部件的空隙率存在差别。

3.如权利要求2中所述的金属成膜部件的制造方法，其中，

在所述表面区域设置贵金属膜的工序中，贵金属进入到在所述第二陶瓷部件的表面形成的空隙中。

4.如权利要求2或3中所述的金属成膜部件的制造方法，其中，

在除去所述贵金属膜的工序中，保留在由于空隙而与贵金属的附着力比所述第一陶瓷部件大的所述第二陶瓷部件的表面上设置的所述贵金属膜，并且除去在由于空隙而与贵金属的附着力比所述第二陶瓷部件小的所述第一陶瓷部件的表面上设置的所述贵金属膜。

5.如权利要求1至4中任1项所述的金属成膜部件的制造方法，其中，

在设置所述贵金属膜的工序中，设置包含从Pt、Au、Ag、Rh中选出一种以上的材料的所述贵金属膜。

6.如权利要求1中所述的金属成膜部件的制造方法，其中，

在除去所述贵金属膜的工序中，在设于所述复合陶瓷部件的表面上的所述贵金属膜上设置剥离膜，将在所述陶瓷部件的表面上设置的所述贵金属膜除去。

7.如权利要求6中所述的金属成膜部件的制造方法，其中，

在除去所述贵金属膜的工序中，在所述贵金属膜上设置由与形成所述贵金属膜的材料不同的金属形成的所述剥离膜。

8.如权利要求6或者7中所述的金属成膜部件的制造方法，其中，

在除去所述贵金属膜的工序中，所述剥离膜处于设置于在所述连接部件的表面上设置的所述贵金属膜上的状态。

9.一种金属成膜部件，其中，具有：

陶瓷部件；

与所述陶瓷部件连接的连接部件；

沿着所述陶瓷部件与所述连接部件的交界，在所述连接部件的表面上形成的贵金属膜；

以所述交界为界，所述连接部件的表面与贵金属的附着力比所述陶瓷部件的表面与贵金属的附着力更大。

10.如权利要求9中所述的金属成膜部件，其中，

所述陶瓷部件为第一陶瓷部件，所述连接部件为第二陶瓷部件，所述第一陶瓷部件以及所述第二陶瓷部件由一体烧结而成为一体烧结体形成。

11.如权利要求9中所述的金属成膜部件，其中，

所述陶瓷部件为第一陶瓷部件，所述连接部件为第二陶瓷部件，所述第二陶瓷部件的空隙率比所述第一陶瓷部件的空隙率大。

12.如权利要求9至11中任一项所述的金属成膜部件，其中，

所述贵金属膜包含从Pt、Au、Ag、Rh的中选出的一种以上的贵金属。

13.一种金属成膜部件，其中，通过包含如下工序的方法制造：在陶瓷部件和连接部件连续形成的复合陶瓷部件的表面区域设置贵金属膜的工序，所述连接部件与贵金属的附着力比所述陶瓷部件与贵金属的附着力大；在所述表面区域设置的所述贵金属膜中，除去在陶瓷部件表面上设置的所述贵金属膜的工序；

所述贵金属膜的边界与所述陶瓷部件和所述连接部件交界一致。