[发明专利]边缘位置检测装置和边缘位置检测方法

说明书

本发明提供边缘位置检测装置和边缘位置检测方法，提高被加工物的边缘的位置的检测精度。对圆盘状的被加工物的边缘的位置进行检测的边缘位置检测装置具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；激光位移计，其具有照射单元和受光单元，该照射单元包含配置在卡盘工作台上方的光源，以横贯被加工物的边缘的方式照射线状激光束，该受光单元包含沿着线状激光束的照射区域的长度方向以规定的间隔排列并分别接受线状激光束的反射光的多个光电转换元件；移动机构，其使激光位移计和卡盘工作台沿着照射区域的长度方向相对地移动；和计算单元，其具有处理器，根据由受光单元取得的受光量的变化的信息计算被加工物的边缘的位置。

技术领域

本发明涉及对圆盘状的被加工物的外周部的边缘的位置进行检测的边缘位置检测装置和边缘位置检测方法。

背景技术

在半导体晶片等板状的被加工物中，存在正面侧和背面侧的外周部分被倒角的被加工物。当对外周部分被倒角的被加工物的背面侧进行磨削，例如薄化至最初的厚度的一半左右的厚度时，在被加工物的外周部形成所谓的刀刃(也称为尖锐边缘)。

当在外周部形成刀刃时，容易在被加工物上产生裂纹、缺口、破损等。因此，为了防止裂纹等，公知有在通过切削等将被加工物的正面侧的外周部去除之后(即，进行了修整后)，对背面侧进行磨削而薄化的技术(例如，参照专利文献1)。

在对正面侧的外周部进行修整时，首先，在利用卡盘工作台对被加工物的背面侧进行保持的状态下，对正面侧的外周部的边缘的位置进行检测。然后，以该边缘的位置为基准，确定实施切削的正面侧的范围。

为了检测边缘的位置，例如使用激光位移计。激光位移计具有：激光照射单元，其照射线状激光束；以及受光单元，其接受线状激光束的来自正面侧的反射光。

受光单元具有沿着线状激光束的长度方向以规定的间隔配置有多个光电转换元件的线传感器，接受以横贯被加工物的边缘的方式照射的线状激光束的反射光。但是，由于在相邻的两个光电转换元件之间的位置无法接受反射光，因此边缘的位置的检测精度依赖于配置各光电转换元件的间隔。

专利文献1：日本特开2000-173961号公报

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，在受光单元具有以规定的间隔配置的多个光电转换元件的情况下，提高边缘的位置的检测精度。

根据本发明的一个方式，提供一种边缘位置检测装置，其对圆盘状的被加工物的边缘的位置进行检测，其中，该边缘位置检测装置具有：卡盘工作台，其具有对该被加工物进行保持的保持面；激光位移计，其具有照射单元和受光单元，该照射单元包含配置在该卡盘工作台上方的光源，以横贯该被加工物的边缘的方式照射线状激光束，该线状激光束被整形为与从该光源向该保持面行进的行进方向垂直的线状，该受光单元包含多个光电转换元件，该多个光电转换元件沿着该线状激光束的照射区域的长度方向以规定的间隔排列，分别接受该线状激光束的反射光；移动机构，其使该激光位移计和该卡盘工作台沿着该照射区域的该长度方向相对地移动；以及计算单元，其具有处理器，根据由该受光单元取得的受光量的变化的信息而计算该被加工物的边缘的位置。

优选的是，该卡盘工作台能够绕规定的旋转轴线进行旋转，将该照射区域的该长度方向沿着与该规定的旋转轴线垂直的规定的方向配置，在向该保持面所保持的该被加工物照射了该线状激光束的状态下，通过该移动机构使该激光位移计和该卡盘工作台沿着该长度方向以相对移动速度V移动，在该相对移动速度V下的该激光位移计的移动时间T的前后，在相邻的第1光电转换元件和第2光电转换元件中的该第1光电转换元件的受光量不发生变化而该第2光电转换元件的受光量发生了变化的情况下，该计算单元计算从该第2光电转换元件的该移动时间T前的原来的位置向相邻的该第1光电转换元件的位置离开了V·T的位置，由此计算该被加工物的边缘的位置。