[发明专利]测试保护电路及其控制方法、测试电路及芯片测试电路有效
申请号: | 202110609539.7 | 申请日: | 2021-06-01 |
公开(公告)号: | CN113359008B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 陆玉斌 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 史治法 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 保护 电路 及其 控制 方法 芯片 | ||
1.一种测试保护电路,其特征在于,包括:
第一电连接端,与测试机的驱动线连接;所述驱动线通过探针与被测器件连接,以为所述被测器件提供电源电压,所述测试机用于对所述被测器件进行开尔文电性测试;
第二电连接端,与所述测试机的感测线连接;所述感测线通过感测引脚与所述被测器件连接,以感测所述被测器件的电源电压;及
保护模块,与所述第一电连接端及所述第二电连接端连接,用于在所述感测引脚异常时将所述被测器件的电源电压反馈给所述测试机;
其中,所述第一电连接端包括驱动线连接端及驱动地线连接端,所述第二电连接端包括感测线连接端及感测地线连接端;所述驱动线包括电源驱动线及驱动地线,所述感测线包括电源感测线及感测地线;所述保护模块包括第一保护子模块及第二保护子模块;所述感测引脚包括第一感测引脚及第二感测引脚;
所述第一保护子模块的两端分别与所述驱动线连接端及所述感测线连接端连接,所述驱动线连接端还与所述电源驱动线连接,所述感测线连接端还与所述电源感测线连接,所述第一保护子模块具有第一预设电阻值;所述电源感测线通过所述第一感测引脚与所述被测器件连接,当所述第一感测引脚与所述被测器件之间接触正常时,所述第一预设电阻值大于所述第一感测引脚和所述被测器件之间的电阻值,当所述第一感测引脚与所述被测器件之间接触异常时,所述第一预设电阻值小于所述第一感测引脚和所述被测器件之间的电阻值;
所述第二保护子模块的两端分别与所述驱动地线连接端及所述感测地线连接端连接,所述驱动地线连接端还与所述驱动地线连接,所述感测地线连接端还与所述感测地线连接,所述第二保护子模块具有第二预设电阻值,所述感测地线通过所述第二感测引脚与所述被测器件连接,当所述第二感测引脚与所述被测器件之间接触正常时,所述第二预设电阻值大于所述第二感测引脚和所述被测器件之间的电阻值,当所述第二感测引脚与所述被测器件之间接触异常时,所述第二预设电阻值小于所述第二感测引脚和所述被测器件之间的电阻值。
2.根据权利要求1所述的测试保护电路,其特征在于,所述第一保护子模块包括第一保护电阻,所述第一保护电阻的两端分别与所述驱动线连接端及所述感测线连接端连接;和/或
所述第二保护子模块包括第二保护电阻,所述第二保护电阻的两端分别与所述驱动地线连接端及所述感测地线连接端连接。
3.根据权利要求2所述的测试保护电路,其特征在于,所述第一保护电阻和所述第二保护电阻的尺寸范围为0.5cm*1cm至2cm*3cm。
4.根据权利要求1至3任一项所述的测试保护电路,其特征在于,所述第一预设电阻值及所述第二预设电阻值相等。
5.根据权利要求4所述的测试保护电路,其特征在于,所述第一预设电阻值和所述第二预设电阻值均为NkΩ,N大于1。
6.根据权利要求5所述的测试保护电路,其特征在于,所述第一预设电阻值和所述第二预设电阻值的范围均为5kΩ至10kΩ。
7.一种测试电路,其特征在于,包括:测试机、探针、感测引脚及如权利要求1至6任一项所述的测试保护电路。
8.根据权利要求7所述的测试电路,其特征在于,所述测试机包括:
所述驱动线;
所述感测线;
负反馈模块,所述负反馈模块的输入端与所述感测线连接,用于反馈所述被测器件的电源电压;及
器件电源,与所述驱动线和所述负反馈模块的输出端连接,用于根据所述负反馈模块或者所述保护模块反馈的所述被测器件的电源电压,调节通过所述驱动线输出给所述被测器件的电压,以控制所述被测器件的电源电压为预设电源电压。
9.根据权利要求7所述的测试电路,其特征在于,当测试的所述被测器件的数量为多个时,所述测试保护电路的数量与所述被测器件的数量相等且一一对应。
10.根据权利要求7所述的测试电路,其特征在于,所述探针和所述感测引脚包括悬臂针或垂直针。
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