[发明专利]一种单晶炉用双底加热器在审
| 申请号: | 202110608579.X | 申请日: | 2021-06-01 |
| 公开(公告)号: | CN113293432A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
| 发明(设计)人: | 郑伟扬 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
| 地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉用双底 加热器 | ||
本发明公开了一种单晶炉用双底加热器,包括两个结构相同的上部底加热器和下部底加热器,以及一组陶瓷支架;上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方,二者之间通过一组陶瓷支架架设在一起,使得上部底加热器和下部底加热器彼此之间不相互接触。上、下部底加热器结构相同,均包括两端的凸台式加热器脚板以及连接于两端凸台式加热器脚板并联的发热体;凸台式加热器脚板的底部和发热体的底部持平,顶部凸起高于发热体;当上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方时,上部底加热器的两端凸台式加热器脚板底部与下部底加热器的底部持平。该双底加热器的配合使用将实现功率供给热量翻倍,加快化料速度的目的,可避免单个底加断裂而导致的焖炉事故。
技术领域
本发明属于单晶硅制备领域,具体涉及一种单晶炉用双底加热器。
背景技术
随着光伏行业的不断发展,大热场大投料量已成为行业的发展趋势,由于投料量的不断增大,化料时间也在不断增加,加快化料速度可以有效降低化料时间在拉晶时间中的占比,提高生产效率。目前的主要方式是提高底加化料功率,供给更多热量来实现加快化料速度的目的,但由于底加热器材料自身性能及配套电源柜等设备的限制,底加热器功率只能升至70-100KW,但由于底加热器功率越高其使用寿命及使用安全性也会相应的降低,在化料过程中一旦发生底加断裂异常就会造成焖炉事故。
发明内容
发明目的:本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种双底加热器,在现有功率基础上实现供给热量翻倍,加快化料速度,提升单产,降低生产成本。同时可避免单个底加断裂而导致的焖炉事故,提供更加安全稳定的拉晶热场,保证拉晶稳定运行。
为了实现上述目的,本发明采取的技术方案如下:
一种单晶炉用双底加热器,包括两个结构相同的上部底加热器和下部底加热器,以及一组陶瓷支架;
所述上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方,二者之间通过一组陶瓷支架架设在一起,使得上部底加热器和下部底加热器彼此之间不相互接触。
具体地,上、下部底加热器结构相同,均包括两端的凸台式加热器脚板以及连接于两端凸台式加热器脚板并联的发热体;凸台式加热器脚板的底部和发热体的底部持平,顶部凸起高于发热体;当上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方时,上部底加热器的两端凸台式加热器脚板底部与下部底加热器的底部持平。
具体地,所述的陶瓷支架的底部一侧,设有开口朝向水平一侧的第一卡槽,陶瓷支架的顶部,设有开口朝上的第二卡槽;位于下方的下部底加热器的发热体卡合于第一卡槽内,位于上方的上部底加热器的发热体卡合于第二卡槽内。
进一步地,所述的发热体包括彼此连接在一起的支撑发热体和补充发热体,所述支撑发热体沿两端凸台式加热器脚板之间的连线设置,所述补充发热体为一段弯曲结构,其连接在支撑发热体的中部,以增加整个发热体的长度。
优选地,所述的陶瓷支架为四个,分别架设在上下两个底加热器在纵向上交错的发热体上。
优选地,所述的陶瓷支架均分别架设在支撑发热体上靠近补充发热体的连接处。
有益效果:
本发明双底加热器采用结构相同的两个底加热器上下倒扣组合的方式通过陶瓷支架组合在一起,相互独立的双底加结构,发热体为互补结构保证双底加360度区域均匀,实现了加热功率翻倍的效果;同时,底加热器采用双凸台结构设计避免了相互独立的底加热器之间出现打火异常,凸台结构倒扣后两个底加热器的底部正好相互持平,可同时连接两组炉底电极;陶瓷支架的引入及特殊结构设计可保证使用的安全性,同时避免单个底加断裂而导致的焖炉事故,提供更加安全稳定的拉晶热场。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明做更进一步的具体说明,本发明的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。
图1是该双底加热器的整体结构示意图。
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