[发明专利]一种铜纳米线表面镀碳方法在审

专利信息
申请号: 202110608412.3 申请日: 2021-06-01
公开(公告)号: CN113293351A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 焦云飞;陈子博;何倩;赵翠娥 申请(专利权)人: 南京邮电大学
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/32;B22F9/24;B82Y40/00
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人: 姚姣阳;杜春秋
地址: 210003 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 表面 方法
【权利要求书】:

1.一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,该方法是在铜纳米线基底上,采用集磁过滤、弧光放电、等离子体于一体的多元共沉积装置进行沉积,制备CuNWs/C抗腐蚀涂层;该方法包括以下步骤:

S1、制备铜纳米线薄膜;

S2、设计多元一体化共沉积装置,所设计的多元一体化装置包括磁过滤器、弧光放电和等离子体镀碳装置;

S3、步骤2所设计的多元一体化共沉积装置采用多元一体化技术制备CuNWs/C抗腐蚀涂层。

2.根据权利要求1 所述一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,所述步骤3中,所述多元一体化技术为包括磁过滤技术、弧光放电技术和等离子体技术相结合的多元化沉积技术。

3.根据权利要求2 所述一种一种铜纳米线表面镀铜方法,其特征在于,所述步骤3中,制备CuNWs/C抗腐蚀涂层的具体方法如下:固体碳源在弧光放电作用下产生等离子体,经过磁过滤后筛选掉大颗粒杂质,纯度高的sp2杂化C等离子体进入薄膜沉积腔,在铜纳米线基底上进行沉积形成CuNWs/C涂层。

4.根据权利要求3 所述一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,所述固体碳源通过磁过滤筛选与弧光放电、等离子体装置共联,以提高样品纯度;弧光放电的弧源为不同金属及非金属。

5.根据权利要求4 所述一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,所述弧源为碳金属。

6.根据权利要求4 所述一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,共联装置采用用1+1及1+N多个联用,该装置包括反应室、沉积基底、可旋转的基座、气体源及进气口以及出气口。

7.根据权利要求6 所述一种一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,所述气体源为二氧化碳。

8.根据权利要求3 所述一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,所述CuNWs/C抗腐蚀涂层中C的厚度为100nm。

9.根据权利要求1所述一种铜纳米线表面镀碳方法,其特征在于,所述步骤1中,铜纳米线薄膜的制备方法如下:将乙二胺加入到Cu(NO3)2·3H2O的水溶液中,混合均匀,将该混合溶液加入NaOH水溶液中,搅拌均匀,后加入适量水合肼,75℃水浴中,静置1h,得到CuNWs进行抽滤,使用超纯水和无水乙醇进行交叉抽滤清洗,得到CuNWs薄膜。

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