[发明专利]除氧化物的旋转靶材绑定方法、计算机可读存储介质及绑定装置

权利要求书

1.除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是包括以下步骤：

靶材安装步骤.绑定装置的底座上设有注铟装置和背管安装位，将背管安装在所述背管安装位，将多节靶管对齐地套装在背管外周，该状态下，背管与最底层靶管之间的间隙对准注铟装置的输出口；

刮擦步骤.将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，提拉硬质波纹片以刮擦背管外表面和/或靶管内表面；

绑定步骤.从背管与最底层靶管之间的间隙底部向上地往所述间隙内注入铟液，控制所述注入铟液的速度以使间隙内铟液的最高点低于硬质波纹片的最低点。

2.根据权利要求1所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是，所述刮擦步骤中，在提拉硬质波纹片之前，将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙直到硬质波纹片的最低处抵住绑定装置的底座。

3.根据权利要求1所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是，所述刮擦步骤与所述绑定步骤是同步执行的。

4.根据权利要求1所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是，所述刮擦步骤中，提拉硬质波纹片具体地，在所述间隙内沿径向上下往复地提起-压低所述硬质波纹片。

5.根据权利要求1所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是，所述刮擦步骤中，提拉硬质波纹片具体地，在所述间隙内沿周向移动所述硬质波纹片。

6.根据权利要求1所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是，包括在所述刮擦步骤之前执行的压制步骤：对硬质金属片进行热压成型，得到与所述靶材与背管之间的间隙形状相匹配的弧形硬质波纹片。

7.根据权利要求1所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是，所述绑定步骤包括脉冲式注入步骤：间隔地进行快速注入铟液。

8.根据权利要求1所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法，其特征是，所述绑定步骤中对靶管外壁和/或背管内壁进行加热，完成注入铟液后停止加热，还包括间隔加热步骤，执行所述停止加热后间隔一小段时间T再次加热。

9.计算机可读存储介质，其存储有计算机程序，其特征是，所述计算机程序被处理器执行时能够实现权利要求1～8中任一项所述的除氧化物的旋转靶材绑定方法。

10.绑定装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，绑定装置包括底座、注铟装置和背管安装位，其特征是，还包括罩在旋转靶材外周的外加热结构，外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部的密封盖，还包括处理器以及如权利要求9所述计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上的计算机程序可被处理器执行。