[发明专利]增强的颗粒沉积系统和方法

权利要求书

1.一种用于将二氧化硅颗粒沉积至工件上的沉积系统，其包括：

用于将二氧化硅颗粒沉积至所述工件的第一部分上的第一组化学沉积燃烧器，所述第一组化学沉积燃烧器具有第一化学沉积燃烧器和第二化学沉积燃烧器；

用于将二氧化硅颗粒沉积至所述工件的第二部分上的第二组化学沉积燃烧器，所述第二组化学沉积燃烧器具有第三化学沉积燃烧器和第四化学沉积燃烧器；以及

用于保持所述工件并用于使所述工件相对于所述第一组化学沉积燃烧器和所述第二组化学沉积燃烧器旋转的车床；

其中所述工件的所述第一部分和所述第二部分在来自每组的一个化学沉积燃烧器将二氧化硅颗粒大量沉积至其上的重叠区段处彼此重叠，使得除了在所述工件的左端部处和右端部处，在所述工件上的任何点，两个化学沉积燃烧器在所述工件上沉积二氧化硅颗粒，其中在所述工件的左端部处，所述第一组化学沉积燃烧器或第二组化学沉积燃烧器之一的仅最左侧的化学沉积燃烧器沉积二氧化硅颗粒，并且在所述工件的右端部处，所述第一组化学沉积燃烧器或第二组化学沉积燃烧器的另一组的仅最右侧的化学沉积燃烧器沉积二氧化硅颗粒，并且

其中任何组内的化学沉积燃烧器之间的最长距离小于不同组中的化学沉积燃烧器之间的最短距离。

2.根据权利要求1所述的沉积系统，所述第一化学沉积燃烧器和所述第二化学沉积燃烧器彼此间隔距离d，所述第三化学沉积燃烧器和所述第四化学沉积燃烧器彼此间隔距离d，所述第一组化学沉积燃烧器与所述第二组化学沉积燃烧器之间的平均距离T大于3×d，并且所述重叠区段具有d的宽度。

3. 根据权利要求1所述的沉积系统，其中所述工件的长度L大于80 cm，并且d为80 mm至150 mm。

4.根据权利要求3所述的沉积系统，其中L大于2×T。

5.根据权利要求1所述的沉积系统，其中所述系统被配置为在所述沉积的一部分期间，所述第一化学沉积燃烧器、所述第二化学沉积燃烧器、所述第三化学沉积燃烧器和所述第四化学沉积燃烧器将从公共源接收化学品，并以相同的速率流出烟灰。

6.根据权利要求1所述的沉积系统，其中所述化学沉积燃烧器的总数为四个。

7.根据权利要求2所述的沉积系统，其中所述沉积系统被配置以引起在所述工件与所述第一组化学沉积燃烧器和第二组化学沉积燃烧器之间的相对纵向移动，所述相对纵向移动沿等于T的纵向行进距离往复运动。

8.一种用于将二氧化硅颗粒沉积至工件上的沉积系统，其包括：

用于将二氧化硅颗粒沉积至所述工件的第一部分上的第一组化学沉积燃烧器；

用于将二氧化硅颗粒沉积至所述工件的第二部分上的第二组化学沉积燃烧器；

用于将二氧化硅颗粒沉积至所述工件的第三部分上的第三组化学沉积燃烧器；以及

用于保持所述工件并用于使所述工件相对于所述第一组化学沉积燃烧器、所述第二组化学沉积燃烧器和所述第三组化学沉积燃烧器旋转的车床；

其中所述工件的所述第一部分和所述第二部分彼此重叠以形成第一重叠区段，来自所述第一组化学沉积燃烧器和第二组化学沉积燃烧器的每一组的一个化学沉积燃烧器被配置为将二氧化硅颗粒沉积在所述第一重叠区段上，使得除了在所述工件的左端部处和右端部处，在所述工件上的任何点，两个化学沉积燃烧器在所述工件上沉积二氧化硅颗粒，其中在所述工件的左端部处，所述第一组化学沉积燃烧器或第二组化学沉积燃烧器之一的仅最左侧的化学沉积燃烧器沉积二氧化硅颗粒，并且在所述工件的右端部处，所述第一组化学沉积燃烧器或第二组化学沉积燃烧器的另一组的仅最右侧的化学沉积燃烧器沉积二氧化硅颗粒，

其中所述工件的所述第二部分和所述第三部分彼此重叠以形成第二重叠区段，来自所述第二组化学沉积燃烧器和第三组化学沉积燃烧器中的每一组的一个化学沉积燃烧器被配置为将二氧化硅颗粒沉积在所述第二重叠区段上，并且

其中每一组内的化学沉积燃烧器之间的最长距离小于不同组中的化学沉积燃烧器之间的最短距离。