[发明专利]一种原位测试方法和能够搭载微纳尺度样品的样品台

权利要求书

1.一种能够搭载微纳尺度样品的样品台，其特征在于：包括基座、封盖和金属丝，所述基座呈立方体状，所述立方体的六个面上分别设置有螺纹孔，所述封盖通过螺丝与所述基座的上表面固连，所述金属丝的中部和底部位于所述封盖和所述基座之间，所述封盖和所述基座将所述金属丝的中部和底部夹紧，所述金属丝的顶端为平面，通过显微沉积焊接工艺将微纳尺度样品固定在所述金属丝的顶端的平面上。

2.根据权利要求1所述的能够搭载微纳尺度样品的样品台，其特征在于：所述封盖和所述基座之间形成有凹槽，所述凹槽设置在所述基座的上表面上，所述金属丝的中部和底部插设在所述凹槽中。

3.根据权利要求2所述的能够搭载微纳尺度样品的样品台，其特征在于：所述金属丝与所述凹槽之间填充有导电胶。

4.根据权利要求2所述的能够搭载微纳尺度样品的样品台，其特征在于：所述凹槽呈半圆柱形。

5.根据权利要求1所述的能够搭载微纳尺度样品的样品台，其特征在于：所述基座靠近所述金属丝的顶端的一个棱边上设置有直角豁口。

6.一种原位测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)利用聚焦离子束-扫描电子显微镜双束系统从体块状样品表面切削出横截面为直角梯形的微纳尺度样品，并保留所述微纳尺度样品一侧与所述体块状样品的连接；

(2)用显微沉积焊接技术将所述微纳尺度样品与内置的机械臂结合在一起，并用聚焦离子束切断所述微纳尺度样品与所述体块状样品的连接；

(3)利用显微沉积焊接技术将所述微纳尺度样品固定在样品台所夹持的金属线顶端的平面上，并用聚焦离子束切断所述微纳尺度样品与所述机械臂的连接；

(4)将样品台从扫描电子显微镜中取出，即可在扫描电子显微镜舱外手动完成三维旋转，再以不同角度置入扫描电子显微镜中，用聚焦离子束对位于所述金属线顶端的所述微纳尺度样品进行切削，进行力学测试所需的微纳材料复杂结构的制备过程；

(5)制备完成后，将所述样品台装夹在微型力学测试仪上，通过调整所述样品台的位置，对准所述金属线的顶端表面，使得所述微型力学测试仪的探针刚好与所述微纳尺度样品的复杂结构着力点对齐；

(6)然后通过操控所述微型力学测试仪在原位观测下测试所述微纳尺度样品在各种受力条件下的力学性能。