[发明专利]一种光电器件和发射机

权利要求书

1.一种光电器件，其特征在于，包括：第一电极、第二电极、第三电极、第一谐振腔和第二谐振腔，所述第一谐振腔包括第一波导，所述第二谐振腔包括第二波导，所述第二电极位于所述第一电极和所述第三电极之间，所述第一波导位于所述第一电极与所述第二电极之间，所述第二波导位于所述第二电极与所述第三电极之间，所述第一电极和所述第二电极之间形成的电场方向与所述第二电极和所述第三电极之间形成的电场方向相反，所述第一谐振腔与所述第二谐振腔耦合，使得输出光经过所述第一谐振腔和所述第二谐振腔。

2.根据权利要求1所述的光电器件，其特征在于，所述光电器件还包括第四电极和第三谐振腔，所述第三谐振腔包括第三波导，所述第三电极位于所述第二电极和所述第四电极之间，所述第三波导位于所述第三电极和所述第四电极之间，所述第二谐振腔与所述第三谐振腔耦合，使得所述输出光经过所述第三谐振腔。

3.根据权利要求2所述的光电器件，其特征在于，所述第二电极和所述第三电极之间形成的电场方向与所述第三电极和所述第四电极之间形成的电场方向相反。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光电器件，其特征在于，所述第二电极的电位高于所述第一电极的电位和所述第三电极的电位。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的光电器件，其特征在于，所述第二电极的电位低于所述第一电极的电位和所述第三电极的电位。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光电器件，其特征在于，所述光电器件还包括第一光栅、第二光栅和第三光栅，所述第一光栅、所述第一波导和所述第二光栅形成所述第一谐振腔，所述第二光栅、所述第二波导和所述第三光栅形成所述第二谐振腔，所述第一光栅与所述第一波导耦合，所述第二光栅用于耦合所述第一波导和所述第二波导，所述第三光栅与所述第二波导耦合，其中，光从所述第一光栅输入并从所述第三光栅输出。

7.根据权利要求6所述的光电器件，其特征在于，所述第二光栅为弧形结构。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的光电器件，其特征在于，所述第一谐振腔为第一环形波导，所述第二谐振腔为第二环形波导，所述第一波导为所述第一环形波导上的一段，所述第二波导为所述第二环形波导上的一段。

9.根据权利要求8所述的光电器件，其特征在于，所述光电器件还包括第四波导，所述第四波导与所述第一环形波导耦合，其中，所述第四波导的一端用于光输入，所述第四波导的另一端用于光输出。

10.根据权利要求8所述的光电器件，其特征在于，所述光电器件还包括第四波导和第五波导，所述第四波导与所述第一环形波导耦合，所述第五波导与所述第二环形波导耦合，其中，所述第四波导用于光输入，所述第五波导用于光输出。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的光电器件，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极中的至少一个电极包括多个子电极，所述至少一个电极中的多个子电极电隔离。

12.根据权利要求11所述的光电器件，其特征在于，在所述第一波导和所述第二波导的延伸方向上，所述至少一个电极中，多个子电极的长度不同。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的光电器件，其特征在于，所述第一波导与所述第二波导平行。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的光电器件，其特征在于，所述第一波导内光的传输方向与所述第一电极和所述第二电极之间形成的电场方向垂直，所述第二波导内光的传输方向与所述第二电极和所述第三电极之间形成的电场方向垂直。