[发明专利]一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺

权利要求书

1.一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，其特征在于，首先制备不锈钢背管，对不锈钢背管采用五氧化二铌粉末进行喷涂，在喷涂时向背管内通入冷水再缓慢加热至90℃，喷涂完成后，以1℃/min速度缓慢降低水温，工件转速同步降低，最后再对靶材进行后处理加工。

2.如权利要求1所述的一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，其特征在于：所述不锈钢背管的制备包括以下步骤：首先选取不锈钢管，并且不锈钢管按图纸进行两端端面预处理；然后采用喷砂机对不锈钢管表面进行处理；最后采用高功率电弧融化镍铝丝，并使融化的镍铝丝均匀溅射至不锈钢管表面。

3.如权利要求1所述的一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，其特征在于：喷涂时，通入水温度不大于90℃，加热功率不大于30KW。

4.如权利要求1所述的一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，其特征在于：工件喷涂时的转速为200r/min，靶材成型后，工件转速逐步降为50r/min；喷涂电弧电压为55-60V，喷涂电弧电流为500±10A。

5.如权利要求1所述的一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，其特征在于：在喷涂时，喷涂房需要密闭，喷涂房温度为40℃以上；同时采用氩气进行保护，氩气流量1700-1720L/H，压力0.5Mpa。

6.如权利要求1所述的一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，其特征在于：所述后处理加工包括以下步骤，首先采用金刚石砂带抛光靶材表面，然后按图纸加工靶材两端端面，最后通过尼龙磨头对靶材两端端面进行除锈、去划痕处理，用无水酒精擦拭靶材表面杂污。