[发明专利]一种光刻胶实验机在审

专利信息
申请号: 202110590897.8 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113358821A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 韩峰 申请(专利权)人: 厦门迪楠贸易有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01N35/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361000 福建省厦*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 光刻 实验
【说明书】:

发明公开了一种光刻胶实验机,包括外壳,所述外壳内设有配制腔,所述配制腔上壁固设有放料仓,所述放料仓上端面设有仓盖,所述仓盖与所述放料仓通过第一转动轴转动连接,所述放料仓下端面固设有波纹管,所述波纹管下端面固设有定量投料机,本发明设有自动配制装置,可根据实验需求配制试剂,设有取样装置和检验装置,可将配制出的试剂进行取样分析和检验,传动装置则能带动试剂在指定位置进行操作,并将试剂倒入收集瓶,输送装置则将收集瓶中的试剂输送处实验机,可让实验人员保存该试剂成品,减轻了实验人员的压力,提高实验效率。

技术领域

本发明涉及光刻胶技术领域,具体为一种光刻胶实验机。

背景技术

光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。半导体材料在表面加工时,若采用适当的有选择性的光刻胶,可在表面上得到所需的图像。光刻胶生产技术较为复杂,我国目前光刻胶技术发展较为落后,为了实现光刻胶技术的进步发明了光刻胶实验机,光刻胶实验机内设有配制装置,可根据实验需求自动配制试剂,并在检测装置的工作下对实验结果进行反馈,在传动装置和输送装置的作用下将试剂成品保存。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻胶实验机,用于克服现有技术中的上述缺陷。

根据本发明的一种光刻胶实验机,包括外壳,所述外壳内设有配制腔,所述配制腔上壁固设有放料仓,所述放料仓上端面设有仓盖,所述仓盖与所述放料仓通过第一转动轴转动连接,所述放料仓下端面固设有波纹管,所述波纹管下端面固设有定量投料机,所述定量投料机下端面固设有第一管道,所述第一管道下端面固设有搅拌机,所述搅拌机下端面固设有第二管道,所述第二管道下端面固设有过滤器,所述过滤器下端面固设有试管,所述配制腔底壁固设有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆与所述搅拌机固定连接,所述配制腔的左下方设有传动腔,所述传动腔内设有带动配制完成的试剂转移到各指定位置的传动装置,所述传动腔上方设有取样腔,所述取样腔内设有抽取部分试剂并放置指定位置的取样装置,所述取样腔后方设有检验腔,所述检验腔后壁固设有分析反馈设备,所述分析反馈设备下端面固设有检验器,所述检验腔后壁固设有可延伸至所述传动腔内的第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆左端面固设有检验台,所述检验台上端面固设有载玻片,所述传动腔右边设有与外部连通的输送腔,所述输送腔内设有能让制成的试剂输送到实验机外指定位置的输送装置。

可选地,所述传动装置包括固设于所述传动腔左壁的固定块,所述固定块右端面固设有前后位置对称的第一安装块,所述第一安装块转动连接有第一管套,所述第一管套内壁固设有液压缸,所述液压缸下端面固设有第二管套,所述固定块右端面固设有与所述传动腔底壁固定连接的且前后位置对称的支架,所述支架内转动连接有第五转动轴,所述第五转动轴转动连接有前后位置对称的第一支件,所述第一支件之间固设有第一连接杆,所述第一连接杆与所述第二管套滑动连接,所述第一支件右端内侧面转动连接有第二支件,前后两根所述第二支件位置对称,所述第二支件上端面固设有载台。

可选地,所述第一支件下端内侧面之间固设有第二连接杆,所述第二连接杆上转动连接有第三管套,所述第三管套右端面固设有第三电动伸缩杆,所述第三电动伸缩杆右端面固设有第四管套,所述支架之间转动连接有第二转动轴,所述第二转动轴上固设有第三支件,所述第三支件下端固设有第三连接杆,所述第三连接杆与所述第四管套转动连接,,所述第三支件之间固设有第四连接杆,所述第四连接杆上转动连接前后位置对称的第四支件,所述第四支件转动连接有转动轴承,所述转动轴承转动连接有第五支件,所述第五支件上端面与所述载台固定连接,所述载台上端面固设有第一安装槽,所述第一安装槽内可放置有烧杯,所述烧杯内放置有光刻胶试剂,所述支架上固设有安装杆,所述安装杆上端面固设有轨道,所述载台前端面固设有卡杆,所述卡杆与所述轨道滑动连接。

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