[发明专利]一种太阳能电池片的制造方法在审
| 申请号： | 202110578014.1 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113314626A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张俊揆;董俊杰;张满满;王璐;乐雄英;陆祥 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0236 | 分类号： | H01L31/0236;H01L31/042;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 毛姗 |
| 地址： | 224005 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
(1)对单晶硅片表面进行激光开孔；
(2)激光开孔后进行酸洗，去除氧化层；
(3)酸洗后进行碱制绒，形成金字塔结构；
(4)然后扩散、去除PSG、碱抛、氧化、正面沉积氮化硅、背面钝化、背面激光开孔、丝网印刷烧结，得到太阳能电池片。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(1)对单晶硅片表面进行激光开孔，且激光开孔位置避开丝网印刷栅线的金属化区域。
3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(1)中激光开孔的深度为1-50微米。
4.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(1)中激光开孔所形成的激光光斑的直径为10-50微米；激光光斑之间的距离为1-1000微米。
5.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(1)中所述激光的功率为120-200W，激光波长为500-900nm。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(2)激光开孔后对激光面进行酸洗，去除因激光高温而产生的氧化层。
7.根据权利要求1或6所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(2)中酸洗所采用的酸为浓度10-15wt％的氢氟酸。
8.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(3)酸洗后用浓度2-5wt％的碱性溶液进行碱制绒，形成金字塔结构。
9.根据权利要求8所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，所述的碱性溶液选自氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液、氢氧化锂溶液中的一种。
10.根据权利要求8所述的一种太阳能电池片的制造方法，其特征在于，步骤(3)酸洗后用浓度2-5wt％的碱性溶液在75-80℃下进行碱制绒，形成金字塔结构。
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