[发明专利]一种半导体光敏感复合材料及其制备方法以及应用在审
申请号: | 202110577465.3 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN113421933A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 林正玺;林仕伟;艾长智 | 申请(专利权)人: | 海南聚能科技创新研究院有限公司 |
主分类号: | H01L31/0264 | 分类号: | H01L31/0264;H01L31/0296;H01L31/0328;H01L31/0216 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 任美玲 |
地址: | 571152 海南省海口市国家高新技术*** | 国省代码: | 海南;46 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 敏感 复合材料 及其 制备 方法 以及 应用 | ||
1.一种半导体复合材料,其特征在于,包括TiN纳米管阵列基底以及复合于所述基底表面的C3N4-CdS复合材料层。
2.根据权利要求1所述的半导体复合材料,其特征在于,所述TiN、C3N4和CdS的质量比为1:1:(0.01~0.03)。
3.根据权利要求1所述的半导体复合材料,其特征在于,在所述C3N4-CdS复合材料层表面还复合有硫化锌钝化层。
4.一种如权利要求1~3任意一项所述的半导体复合材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
A)将TiN纳米管阵列基底置于胺类前驱体水溶液中浸泡后置于氮气气氛中退火,在TiN纳米管阵列基底表面形成一层C3N4薄膜;
B)通过SILAR法将硫化镉量子点沉积C3N4薄膜表面,得到半导体复合材料。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述TiN纳米管阵列基底的制备方法为:
1)将清洗干净的钛片作为工作电极夹到钛丝上,不锈钢片为对电极夹到铜丝上,氟化铵的乙二醇水溶液为电解液,使用可编程直流电源阳极氧化钛片后进行退火,得到TiO2纳米管阵列;
2)将所述TiO2纳米管阵列置于氨气气氛中进行梯度式升温退火处理,得到TiN纳米管阵列基底。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,步骤1)中,所述阳极氧化的电压为60~65V,阳极氧化的时间为30~45min,温度为27~28℃;
步骤1)中,所述退火的温度为400~450℃,退火的时间为3~5h;
步骤2)中,所述梯度式升温退火处理的升温程序为:
第一阶段:由室温升到600℃保温1~2h;
第二阶段:600℃升到800℃保温2~3h。
7.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤A)中,所述胺类前驱体水溶液选自单氰胺水溶液、双氰胺水溶液或三聚氰胺水溶液;
所述退火的温度为550~650℃,保温时间为2.5~3h。
8.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤B)中,所述通过SILAR法将硫化镉量子点沉积C3N4薄膜表面的方法为:
将复有C3N4薄膜的TiN纳米管阵列基底置于硝酸镉乙醇溶液中进行浸泡,取出清洗后再置于硫化钠甲醇溶液中浸泡,得到半导体复合材料。
9.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,还包括步骤C):将所述半导体复合材料依次置于硫化钠甲醇溶液和硝酸锌水溶液中浸泡,得到复合有硫化锌钝化层的半导体复合材料。
10.一种如权利要求1~3任意一项所述的半导体复合材料在太阳能电池中的应用。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的