[发明专利]一种实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法

权利要求书

1.一种实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法，其特征在于，将需要表征的超大样品通过样品台固定在样品马达台上，样品制备严格遵守“两平”原则；调整主机样品台限位，保证所需运行行程；利用附件自动运行程序控制样品检测位置的工作距离WD为27mm固定值恒定不变，检测过程中，样品倾角不改变，扫描位置移动仅靠X、Y坐标改变实现，取消Z轴与工作距离WD联动，不改变工作距离WD大小；设置样品倾转角为52°～60°范围内；调整EBSD检测器空间位置使样品检测位置距衍射花样中心的距离DD在15～22mm范围内；外挂主机监控程序实现检测位置联动动态聚焦和像散参数；外挂主机监控程序将记录的多点动态聚焦值和像散值输送给附件自动运行程序参与计算，最终实现对超大样品的连续自动表征；

样品制备严格遵守“两平”原则具体为：样品检测表面要严格与样品台底平面平行且检测表面要平整，不能出现起伏；

附件自动运行程序为附件内嵌控制程序，控制附件读取主机扫描测试位置、记录设定的扫描位置坐标、根据放大倍数计算需要扫描的屏数并控制样品台逐屏移动；

外挂主机监控程序实现检测位置联动动态聚焦和像散参数具体为：系统运行前，在X-Y平面内移动样品台，通过外挂主机监控程序记录检测区域内手动设定的边缘四点和点阵列各点的坐标、动态聚焦值以及像散值；

外挂主机监控程序将记录的多点动态聚焦值和像散值输送给附件自动运行程序参与计算具体为：系统运行时，当样品台移动到某一个手动设定位置时，外挂主机监控程序记录的动态聚焦值和像散值作为区域参数，覆盖附件自动运行程序的计算值。

2.根据权利要求1所述的实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法，其特征在于，改变样品传统倾角，使传统倾转角70°倾角调整为52°～60°范围内，具体数值由极靴的锥体角、EBSD探测器的位置及超大样品的检测行程决定。

3.根据权利要求1所述的实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法，其特征在于，调整EBSD检测器空间位置，使其DD值由原来的10～15mm变成15～22mm范围内，具体数值由样品倾转角、检测样品花样清晰程度及样品的检测行程决定。

4.根据权利要求1所述的实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法，其特征在于，主机样品台限位调整，保证所需运行行程具体为：

通过调整样品台X/Y/Z软限位或机械限位，满足大样品运行要求。