[发明专利]一种屏蔽泵主轴轴向窜动的检控装置、方法及屏蔽泵

权利要求书

1.一种屏蔽泵，其特征在于，所述屏蔽泵包括：

屏蔽泵主体；屏蔽泵主轴轴向窜动的检控装置；

其中，屏蔽泵主轴轴向窜动的检控装置连接在屏蔽泵主体上，屏蔽泵主体的主轴与连接结构连接；

所述屏蔽泵主轴轴向窜动的检控装置包括：

缸体；

与所述缸体配合的活塞，并形成密封结构；

连接结构，其用于连接所述活塞与所述主轴；

传感器，其用于检测所述缸体内的压强；所述主轴在产生轴向窜动时，推拉所述活塞在所述缸体内移动，所述传感器由此输出相应的压力信号即电荷q；

控制器，其根据所述压力信号，计算所述主轴的轴向窜动量即轴向窜动位移x：x=(dnRT)/q；

其中，d为所述传感器的压电系数，n表示所述缸体的物质的量，T表示所述缸体内的绝对温度，R表示缸体气体常数；

屏蔽泵主轴轴向窜动的检控装置还包括用于存储数据的存储件，控制器控制存储件存储数据，并以此导出检测曲线；

所述屏蔽泵还包括屏蔽泵主轴径向跳动的检控装置；

所述屏蔽泵主轴径向跳动的检控装置包括：支撑框架，其套设在所述主轴上；多个检测件，其以所述主轴为中心轴，等比例环绕设置在所述支撑框架面向所述主轴的侧壁上；每个检测件的监测点指向所述主轴方向并构成一个检测平面，并且监测点到所述主轴的距离相等且距离不超过一个预设的距离值；检测件用于在主轴径向跳动时因受主轴触碰而产生感应信号，并通过所述主轴径向方向的形变对主轴径向跳动进行抑制；所述距离值的数值与所述检控装置的检测精度成正比；所述检测件的数量满足所述主轴在径向跳动时只能触碰其中两个检测件，由此形成第一感应信号和第二感应信号；数据处理器，其根据所述第一感应信号和所述第二感应信号计算得到组合信号c，通过组合信号c表征主轴径向跳动的大小和方向：c＝a+b＝(x+x',y+y')；其中，a为所述第一感应信号在检测平面的平面向量，b为所述第二感应信号在检测平面的平面向量；(x，y)为a的平面向量坐标，(x'，y')为b的平面向量坐标。

2.根据权利要求1所述的一种屏蔽泵，其特征在于，所述缸体内部盛放空气。

3.根据权利要求1所述的一种屏蔽泵，其特征在于，屏蔽泵主轴轴向窜动的检控屏蔽泵还包括固定壳体，缸体固定安装在固定壳体的内部，固定壳体连接在屏蔽泵主体并设置有轴向调节结构，通过调节结构调节固定壳体与传感屏蔽泵距离，固定壳体靠近传感屏蔽泵，连接结构与主轴连接进行检测；固定壳体远离传感屏蔽泵，连接结构与主轴分离。

4.一种屏蔽泵主轴轴向窜动的检控方法，所述屏蔽泵主轴轴向窜动的检控方法包括：

安装如权利要求1-3中任一所述的一种屏蔽泵；

传感器感应活塞移动所致的压强改变，并将压强变化转化为电信号变化即电荷q；

控制器根据所述电荷q计算所述主轴轴向窜动位移x，计算过程为x=(dnRT)/q；

其中，d为所述传感器的压电系数，n表示所述缸体的物质的量，T表示所述缸体内的绝对温度，R表示缸体气体常数；

通过轴向窜动位移x变化表征屏蔽泵主轴轴向窜动量。