[发明专利]一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法

说明书

本发明公开一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法，属于硅片清洗领域；一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备包括倾斜机构、箱体、往复驱动机构、打散机构以及清洗机构；通过设置倾斜机构来使箱体倾斜，箱体内液体能够集中流向收纳箱，并完成过滤和循环使用；通过往复驱动机构来控制硅片在碱抛和清洗两个工位来回运动，使得硅片每次完成碱抛后都能完成清洗，避免硅片表面上的杂质堆积没影响碱抛效果；通过设置打散机构，来实现硅片冲洗之前对其表面上的絮状胶体进行打散，便于清洗机构将絮状胶体的冲洗掉；一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备的使用方法包括夹持调整、倾角调整、冲洗角度调整以及碱抛清洗。

技术领域

本公开属于硅片清洗领域，具体涉及一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法。

背景技术

太阳能电池技术的核心一直是降低成本和提升效率，制绒工艺一方面可以延长光在硅表面的光程，另一方面可以减少反射损失，从而提升效率，单晶硅片在碱制绒工艺下，反射率11％，而多晶硅片目前常用的酸制绒处理后，反射率16％，反射率偏高导致对光吸收效果变差，进而影响效率，近年来，金属催化化学腐蚀法(MCCE)作为一种新的制绒技术正在迅速得到大规模应用，该方法通过金属离子催化与硅片接触点的刻蚀速率，在硅片表面形成深坑，从而增大比表面积，形成陷光结构，降低反射率，提升转化效率；

MCCE制绒过程包括碱抛，碱抛的过程就是用碱性溶液洗对硅片表面进行冲洗达到抛光的目的，碱抛作用为出去金刚线硅片损伤层以及清洗油污杂质，碱抛的优良程度直接关系到后续镀银挖孔的效果，影响整个制绒环节的最终良率；而碱抛过程中由于金刚线硅片表面带有的脏污不断累积，溶液中杂质含量不断提高，影响碱抛质量，此外硅与碱反应后生成的硅酸盐化合物为絮状胶体，容易粘附在硅片表面，该物质也会影响碱抛反应。

发明内容

针对现有技术的不足，本公开的目的在于提供一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法，解决了现有技术中硅片表面杂质脏污影响碱抛质量的问题。

本公开的目的可以通过以下技术方案实现：

一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备，包括底板，其特征在于，所述底板的上方安装有箱体，箱体内设置有挡板，挡板将箱体内部分为碱抛和清洗两个工位；所述箱体的一侧设置有两个收纳箱，两个收纳箱分别用来对碱抛和清洗两个工位内的液体进行收纳，收纳箱内安装有滤网；

进一步地，所述箱体远离所述收纳箱的一侧设置有往复驱动机构，往复驱动机构用于驱动硅片在碱抛和清洗两个工位之间往复运动；

进一步地，所述底板和所述箱体之间安装有倾斜机构，倾斜机构用于实现箱体发生倾斜，使箱体内的液体能够集中流向所述收纳箱。

进一步地，所述往复驱动机构包括固定架，固定架与所述箱体固定连接，固定架上端滑动连接有移动框架，移动框架呈长方形，移动框架的两条长边内侧分别设置有第一直齿，移动框架内安装有能够与第一直齿不完全啮合的第一缺齿齿轮，固定架上端固定有用于驱动第一缺齿齿轮转动的驱动装置，第一缺齿齿轮在同一时刻内只与其中一个第一直齿啮合或者与两个第一直齿皆不啮合；

进一步地，所述移动框架靠近所述箱体的一侧滑动连接有两个用于夹持硅片的夹板，两个夹板的一端穿过箱体的侧边，并伸至箱体的内部，箱体的侧边上开设有用于对夹板的滑动进行让位的第三让位槽。

进一步地，两个所述夹板之间安装有调节组件，调节组件用于调节两个夹板之间的距离；

进一步地，所述调节组件包括第一固定杆，第一固定杆的一端与其中一个夹板固定连接，另一端转动连接有套管，套管远离第一固定杆的一端螺纹连接有第二固定杆，第二固定杆远离套管的一端与另一个夹板固定连接；

进一步地，两个所述夹板之间连接有第一弹簧，第一弹簧的两端分别与两个夹板的侧面固定连接；