[发明专利]一种基于物联网的晶圆清洗用监控系统

权利要求书

1.一种基于物联网的晶圆清洗用监控系统，包括后台监控单元、处理单元、清洗槽、与清洗槽进口连接的清洗液注入箱和与清洗箱出口连接的清洗液回收箱，其特征在于，所述清洗液注入箱的内部设置有清洗液余量探测器，所述清洗槽的内部设置有水温检测器和清洗液水位探测器，所述清洗槽的顶部设置有用于检测晶圆状态的红外监控探测器和用于计算晶圆放置时长的时间定时器，所述清洗液回收箱的内部设置有水质检测仪，所述水质检测仪、清洗液余量探测器、水温检测器、清洗液水位探测器、红外监控探测器和时间定时器均与处理单元电性连接，所述处理单元通过智能网关与后台监控单元建立通讯连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于物联网的晶圆清洗用监控系统，其特征在于，所述后台监控单元包括清洗液余量显示模块、水温显示模块、清洗液水位显示模块、浸泡时长显示模块和水质状况显示模块。

3.根据权利要求1所述的一种基于物联网的晶圆清洗用监控系统，其特征在于，所述清洗液回收箱的内部设置有与处理单元电性连接的废液余量探测器。

4.根据权利要求1所述的一种基于物联网的晶圆清洗用监控系统，其特征在于，所述处理单元包括有清洗液消耗计算模块。

5.根据权利要求1所述的一种基于物联网的晶圆清洗用监控系统，其特征在于，所述后台监控单元通过无线通讯模块连接有个人终端模块。