[发明专利]一种血管支架表面ZrC涂层的改性方法

权利要求书

1.一种血管支架表面ZrC涂层的改性方法，包括以下步骤：

以血管支架材料作为衬底，对衬底进行预处理，预处理包括酸洗、打磨、清洗和烘干，酸洗选用10%-20%的HCl溶液，打磨分别选用400#、600#、800#和1200#的砂纸进行，清洗选用去离子水配合超声辅助清洗，烘干在保护性气氛下进行；

将烘干后的衬底放入磁控溅射镀膜机中，通入氩气，对衬底进行等离子轰击；

以Zr-7.8wt%石墨复合靶材作为溅射源，以氩气为工作气体，在支架衬底表面沉积ZrC涂层，其中，本底真空度为1×10^-5Pa-5×10^-5Pa，氩气流量50-70sccm，衬底温度180-250℃，溅射压力3.0-8Pa，溅射功率80-120W；

将覆有ZrC涂层的血管支架放入离子渗氮炉中，渗氮过程中本底真空度5-10Pa，工件渗氮温度为600-750℃，升温速率为15-25℃/min，电流密度为3.0-5.0mA/cm²，工作电压为630-760V，工作压力为500-800Pa，阴阳两极的距离为40-55mm，渗氮时间8-10h，离子渗氮的反应气体为氮气和氢气的混合气体或者氨气，所述混合气体中氮气占比25%-75%；

将离子渗氮后的工件取出，放入退火炉中，在惰性气体下去应力退火，其中退火温度为300-400℃，退火时间1.5-2.0h。

2.一种如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述支架材料为医用不锈钢或镍钛记忆合金。

3.一种如权利要求2所述的方法，其特征在于：所述医用不锈钢为316L不锈钢。

4.一种如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述混合气体中氮气占比62%。