[发明专利]一种射频阻抗测量方法

说明书

本发明涉及电子测量领域，具体涉及一种射频阻抗测量方法。本发明方法包括以下步骤：测试信号产生、射频阻抗测量和测量结果修正。测试信号产生用于生成频率范围9kHz～3.6GHz，最大输出功率10dBm的射频信号；射频阻抗测量用于测量被测件的阻抗；测量结果修正用于测量电路中的残余参量，并对实际测量结果进行补偿修正。采用本方法可以实现频率范围9kHz～3.6GHz，阻抗模值范围1mΩ～100kΩ射频阻抗的准确测量，性能稳定且操作使用方便。

技术领域

本发明涉及电子测量领域，特别是涉及一种射频阻抗测量方法。

背景技术

目前，射频阻抗测量主要使用反射系数法，通过测量被测器件的测试信号和反射信号得到阻抗值，但这种方法只有在被测件阻抗值处于测量电路特性阻抗附近时才能获得较高的测量精度。根据射频电压电流进行阻抗测量可以获得较宽的测量范围和较高的测量精度，但测量方法繁琐，需要根据被测件阻抗值的高低不同使用高阻和低阻两种测量电路。

因此需要研发一种基于射频电压电流测量的、简单可靠的射频阻抗测量方法，以满足射频阻抗准确测量的要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种射频阻抗测量方法。

为实现上述目的，具体技术方案如下：

一种射频阻抗测量方法，包括以下步骤：测试信号产生、射频阻抗测量和测量结果修正。

其中，测试信号产生步骤具体为：根据测试要求设置射频信号发生器产生指定频率和功率的正弦信号并输出。

所述射频信号发生器的输出频率范围为9kHz～3.6GHz，输出功率为-40dBm～10dBm。

所述测试信号产生步骤用于生成频率范围9kHz～3.6GHz，最大输出功率10dBm的射频信号。

其中，所述射频阻抗测量步骤具体为：

(1)测试座的信号输入端连接射频信号源，测试端连接被测件，射频电压输出端和射频电流输出端分别连接示波器的CH1和CH2通道；

(2)示波器设置为电压测量模式，50Ω输入阻抗，根据测试频率和功率设置示波器的时基轴和电压轴；

(3)使用示波器测量两通道的电压幅度值，计算幅度之比，乘以50得到被测件的阻抗模值|Z|；测量两通道的相位差θ，得到测件在测量频率f下的射频阻抗测量值Z＝|Z|e^j2πfθ。

所述测试座配置有信号输入端、测试端、射频电压输出端和射频电流输出端，工作频率范围9kHz～3.6GHz。

所述示波器为双通道或四通道，测量带宽4GHz，采样率20GSa/s，配置12bitDAC。

所述射频阻抗测量步骤用于测量被测件的阻抗。

其中，所述测量结果修正步骤具体为：

(1)保持测量装置连接关系不变，将开路器接到测试座的测试端；

(2)使用示波器测量两通道电压幅度值，计算幅度之比，乘以50得到开路器阻抗模值|Z_O|；测量两通道的相位差θ_O，开路器在测量频率f下的射频阻抗测量值为

(3)将短路器接到测试座的测试端；

(4)使用示波器测量两通道电压幅度值，计算幅度之比，乘以50得到短路器阻抗模值|Z_s|；测量两通道的相位差θ_S，短路器在测量频率f下的射频阻抗测量值为

(5)将50Ω负载接到测试座的测试端；