[发明专利]一种小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件

说明书

本发明公开了一种小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件，包括第一法兰、第二法兰和卡箍，卡箍用于实现第一法兰的第一法兰盘与第二法兰的第二法兰盘之间的密封连接。首端卡箍压块、中间卡箍压块和末端卡箍压块依次通过连接条铰接连接，形成柔性卡箍结构。本方案公开的小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件的第一法兰盘和第二法兰盘的端部厚度为3‑5mm，首端卡箍压块、中间卡箍压块和末端卡箍压块的厚度为14‑18mm，小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件与第一法兰和第二法兰组合安装后，整体厚度不超过18mm，相对于现有技术中螺栓锁紧的结构更节省轴向空间，减小了小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件安装所需的轴向空间，能够适应衍射极限储存环紧凑结构。

技术领域

本发明涉及超高真空技术领域，特别涉及一种小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件。

背景技术

现有技术中超高真空系统的密封连接常用小通径国标超高真空法兰组件，小通径国标超高真空法兰组件通常指通径小于63mm的法兰，通过6-8个螺栓实现锁紧密封。

现有技术中单个小通径国标超高真空法兰盘的厚度在7.3-17.5mm，如图1所示，单个法兰盘上开设有沿法兰盘的轴线方向的法兰孔，螺栓依次穿过小通径国标超高真空法兰组件的两个法兰盘的法兰孔后通过螺母拧紧，如图1所示，螺栓的螺栓头和螺母均凸出小通径国标超高真空法兰组件的两个侧面，凸出小通径国标超高真空法兰组件螺栓的螺栓头和螺母需要占用沿单个法兰盘的轴向方向的空间，一般小通径国标超高真空法兰组件的轴向尺寸会超过20mm。

目前第四代光源向着衍射极限储存环发展，其插入件直线节占比高，储存环弯段采用MBA lattice结构，聚焦磁铁间的距离很小，留给小通径国标超高真空法兰组件轴向安装空间非常有限，导致上述小通径国标超高真空法兰组件难以满足衍射极限储存环的安装要求。

因此，如何减小小通径国标超高真空法兰组件安装所需的轴向空间，以适应衍射极限储存环紧凑结构，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件，以减小小通径国标超高真空法兰组件安装所需的轴向空间，以适应衍射极限储存环紧凑结构。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种小通径系列超高真空链式卡箍法兰组件，包括：

第一法兰，包括第一管段和第一法兰盘，所述第一管段的端部与所述第一法兰盘连接且与所述第一法兰盘同轴布置，所述第一法兰盘的第一侧与所述第一管段的端部平齐，所述第一法兰盘的第一侧为平面，所述第一法兰盘的第二侧为倾斜面，所述第一法兰盘沿自身轴线方向的厚度自靠近所述第一管段的一端向着远离所述第一管段的一端逐渐减小，所述第一法兰盘的端部厚度为3-5mm；

第二法兰，包括第二管段和第二法兰盘，所述第二管段的端部与所述第二法兰盘连接且与所述第二法兰盘同轴布置，所述第二法兰盘远离所述第二管段的端部的第一侧为倾斜面，所述第二法兰盘的第二侧与所述第二管段的端部平齐，所述第二法兰盘的第二侧为平面，所述第二法兰盘的第二侧能够与所述第一法兰盘的第一侧贴合，所述第二法兰盘沿自身轴线方向的厚度自靠近所述第二管段的一端向着远离所述第二管段的一端逐渐减小，所述第二法兰盘的端部厚度为3-5mm，所述第二法兰盘的第二侧与所述第一法兰盘的第一侧之间设置有密封件；