[发明专利]一种导电膜气离式刻蚀工艺有效

专利信息
申请号: 202110556165.7 申请日: 2021-05-21
公开(公告)号: CN113488385B 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: 高中彦 申请(专利权)人: 刘军
主分类号: H01L21/3213 分类号: H01L21/3213;C09K13/06
代理公司: 江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44577 代理人: 何办君
地址: 529000 广东省江门市蓬江区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 导电 膜气离式 刻蚀 工艺
【权利要求书】:

1.一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:包括以下步骤:

S1、提前根据导电膜材质配制好蚀刻油墨,并依次经过分散、研磨、过滤后备用;

S2、将蚀刻油墨涂布至导电膜上,然后取多个气离微球埋入蚀刻油墨中;

S3、在导电膜背面间歇性施加磁场,迫使气离微球间歇性的对蚀刻油墨进行挤压,使得蚀刻油墨与导电膜充分接触进行蚀刻;

S4、蚀刻结束后撤销磁场,然后进行加热烘干,同时触发气离微球释放气体的动作,使得气体填充至缝隙中有助于蚀刻油墨的剥离;

S5、待蚀刻油墨成膜后,将磁场转移至导电膜上方,从而加速膜的剥离,导电膜上的导电线路即制作完成。

2.根据权利要求1所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述步骤S1中导电膜的材质为氧化铟锡透明导电膜。

3.根据权利要求1所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述步骤S1中蚀刻油墨按以下成分及重量百分比进行配制:20%的有机与无机混合酸液、10%的聚醋酸乙烯酯、20%的聚乙烯醇树脂、13%的无机填料、30%的水以及7%的其他助剂或颜料。

4.根据权利要求1所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述步骤S2中蚀刻油墨采用丝网印刷的方式进行涂布,涂布厚度为150-500μm。

5.根据权利要求1所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述气离微球包括空心压墨球(1)、多根配重须(2)以及多个隔离磁包(3),所述配重须(2)均匀连接于空心压墨球(1)下端面上,所述隔离磁包(3)均匀镶嵌于空心压墨球(1)下端面内。

6.根据权利要求5所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述配重须(2)采用弹性材料制成,且多个配重须(2)远离空心压墨球(1)的一端面保持齐平。

7.根据权利要求5所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述空心压墨球(1)采用轻质导热材料制成空心结构,所述空心压墨球(1)内填充有粉末状的碳酸氢钠。

8.根据权利要求5所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述隔离磁包(3)包括内陷膜(31)、热熔块(32)以及多个磁性颗粒(33),所述内陷膜(31)镶嵌于空心压墨球(1)内端,所述热熔块(32)连接于内陷膜(31)外端,所述磁性颗粒(33)镶嵌于热熔块(32)内。

9.根据权利要求8所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述内陷膜(31)采用防水透气材料制成,所述热熔块(32)采用热熔性材料制成,且热熔块(32)的熔点低于步骤S4中的加热温度。

10.根据权利要求5所述的一种导电膜气离式刻蚀工艺,其特征在于:所述空心压墨球(1)上侧设有盖墨鳞片(4),所述盖墨鳞片(4)与空心压墨球(1)之间连接有多根均匀分布的弹性拉丝(5)。

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