[发明专利]LED陶瓷封装基板及其制备方法在审
| 申请号: | 202110555160.2 | 申请日: | 2021-05-20 |
| 公开(公告)号: | CN113299814A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
| 发明(设计)人: | 王军喜;李燕;杨宇铭;杨华;伊晓燕;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/62;H01L33/60 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
| 地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | led 陶瓷封装 及其 制备 方法 | ||
1.一种LED陶瓷封装基板,包括:
陶瓷基板,具有内焊盘;
第一金属镀层,覆盖于所述陶瓷基板的LED芯片安装侧,且与所述内焊盘连接,所述第一金属镀层用于连接所述LED芯片并为所述LED芯片供电;以及
第二金属镀层,覆盖于所述第一金属镀层上,所述第二金属镀层用于反射所述LED芯片发出的光。
2.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述陶瓷基板包括:
陶瓷外壳;以及
金属电路,镶嵌设置于所述陶瓷外壳;
所述金属电路在所述LED芯片安装侧,形成所述内焊盘;
所述金属电路在所述LED芯片安装侧的对侧,形成能够与外部电路链接的外焊盘。
3.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述第一金属镀层包括:
正极镀层,用于连接所述LED芯片的正电极;以及
负极镀层,用于连接所述LED芯片的负电极。
4.根据权利要求3所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述LED芯片通过锡焊或共晶的方式键合与所述第一金属镀层。
5.根据权利要求3所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述正电极通过锡焊或共晶的方式键合于所述正极镀层,所述负电极通过金线键合于所述负极镀层。
6.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述第二金属镀层设置有窗口,所述窗口用于暴露出与所述LED芯片连接的所述第一金属镀层。
7.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,还包括:
围坝,固定设置于所述陶瓷基板上,且包围所述LED芯片。
8.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述陶瓷基板类型为共烧陶瓷基板、直接键合铜陶瓷基板或直接镀铜陶瓷基板中一种。
9.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述第二金属镀层为厚度为0.1μm到1μm的金属Al。
10.一种用于制备权利要求1至9任一LED陶瓷封装基板的LED陶瓷封装基板制备方法,包括:
操作S1:将准备好的附有Cu焊盘和电路的陶瓷基板分别置于丙酮、乙醇、去离子水中水浴加热清洗各15分钟;
操作S2:在陶瓷基板的内焊盘上进行涂胶、光刻、显影,通过电子束蒸发沉积得到第一金属镀层,在丙酮、乙醇中水浴加热清洗去胶;
操作S3:在第一金属镀层上进行涂胶、光刻、显影,通过电子束蒸发沉积得到图形化的第二金属镀层,在丙酮、乙醇中水浴加热清洗去胶;以及
操作S4:划裂完成操作S3的陶瓷基板,得到单颗陶瓷封装基板。
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