[发明专利]LED陶瓷封装基板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110555160.2 申请日: 2021-05-20
公开(公告)号: CN113299814A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 王军喜;李燕;杨宇铭;杨华;伊晓燕;李晋闽 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L33/62;H01L33/60
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: led 陶瓷封装 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种LED陶瓷封装基板,包括:

陶瓷基板,具有内焊盘;

第一金属镀层,覆盖于所述陶瓷基板的LED芯片安装侧,且与所述内焊盘连接,所述第一金属镀层用于连接所述LED芯片并为所述LED芯片供电;以及

第二金属镀层,覆盖于所述第一金属镀层上,所述第二金属镀层用于反射所述LED芯片发出的光。

2.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述陶瓷基板包括:

陶瓷外壳;以及

金属电路,镶嵌设置于所述陶瓷外壳;

所述金属电路在所述LED芯片安装侧,形成所述内焊盘;

所述金属电路在所述LED芯片安装侧的对侧,形成能够与外部电路链接的外焊盘。

3.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述第一金属镀层包括:

正极镀层,用于连接所述LED芯片的正电极;以及

负极镀层,用于连接所述LED芯片的负电极。

4.根据权利要求3所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述LED芯片通过锡焊或共晶的方式键合与所述第一金属镀层。

5.根据权利要求3所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述正电极通过锡焊或共晶的方式键合于所述正极镀层,所述负电极通过金线键合于所述负极镀层。

6.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述第二金属镀层设置有窗口,所述窗口用于暴露出与所述LED芯片连接的所述第一金属镀层。

7.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,还包括:

围坝,固定设置于所述陶瓷基板上,且包围所述LED芯片。

8.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述陶瓷基板类型为共烧陶瓷基板、直接键合铜陶瓷基板或直接镀铜陶瓷基板中一种。

9.根据权利要求1所述的LED陶瓷封装基板,其中,所述第二金属镀层为厚度为0.1μm到1μm的金属Al。

10.一种用于制备权利要求1至9任一LED陶瓷封装基板的LED陶瓷封装基板制备方法,包括:

操作S1:将准备好的附有Cu焊盘和电路的陶瓷基板分别置于丙酮、乙醇、去离子水中水浴加热清洗各15分钟;

操作S2:在陶瓷基板的内焊盘上进行涂胶、光刻、显影,通过电子束蒸发沉积得到第一金属镀层,在丙酮、乙醇中水浴加热清洗去胶;

操作S3:在第一金属镀层上进行涂胶、光刻、显影,通过电子束蒸发沉积得到图形化的第二金属镀层,在丙酮、乙醇中水浴加热清洗去胶;以及

操作S4:划裂完成操作S3的陶瓷基板,得到单颗陶瓷封装基板。

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