[发明专利]光学基片的制作方法及光学基片

说明书

本发明提供一种光学基片的制作方法，包括：提供母板基片；对母板基片的部分区域镀膜以制作光学玻璃基片，其中，镀膜的母板基片形成光学玻璃基片的光学窗口部，未镀膜的母板基片形成光学玻璃基片的基片主体部，基片主体部具有相背的第一表面和第二表面。在基片主体部的第一表面形成金属层。机械切割金属层以移除部分金属层。从第二表面激光切割，以形成多个光学基片。本发明提供的光学基片的制作方法，通过机械切割移除部分第一表面的金属层，以及激光切割与第一表面对应的第二表面，提升了光学基片的良率以及生产效率。本发明还提供一种光学基片。

技术领域

本发明涉及光学元件制作技术领域，具体而言，涉及一种光学基片的制作方法及光学基片。

背景技术

随着光学技术的发展，光学元件例如光窗、扩散片等在投影和照明领域的应用也越来越普及。因此，光学元件的制作工艺就显得尤为重要。然而，现有的光学元件在制作过程中会出现良率低或者生产效率低的问题。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种光学基片的制作方法及光学基片，以解决上述问题。本发明实施例通过以下技术方案来实现上述目的。

第一方面，本发明提供一种光学基片的制作方法，包括：提供母板基片；对母板基片的部分区域镀膜以制作光学玻璃基片，其中，镀膜的母板基片形成光学窗口部，未镀膜的母板基片形成基片主体部，基片主体部具有相背的第一表面和第二表面。在基片主体部的第一表面形成金属层。机械切割金属层以移除部分金属层。从第二表面激光切割，以形成多个光学基片。

在一种实施方式中，对所述母板基片镀膜包括：将母板基片置于镀膜夹具内，母板基片具有相背的第一表面和第二表面。镀膜夹具包括多个开口，置于镀膜夹具内的母板基片的第一表面和第二表面从多个开口露出。在露出的第一表面和第二表面镀膜，以形成多个光学窗口部,未镀膜的母板基片形成基片主体部。

在一种实施方式中，在机械切割金属层以移除部分金属层之前，方法还包括：利用干膜蚀刻工艺在金属层形成图案化掩膜，覆盖光学窗口部和部分金属层；利用电镀工艺形成金属密封层，金属密封层围绕光学窗口部。

在一种实施方式中，金属密封层与对应的光学窗口部之间具有间隙。

在一种实施方式中，金属层连续地形成于第一表面，并延伸至光学窗口部，与光学窗口部相连接。

在一种实施方式中，金属密封层的厚度大于10μm。

在一种实施方式中，利用旋转刀片法机械切割金属层以移除部分金属层。

在一种实施方式中，在机械切割金属层以移除部分金属层之前还包括：在第二表面贴附固定膜。

在一种实施方式中，在从第二表面激光切割，以形成多个光学基片之前还包括：去除第二表面的固定膜。在第一表面贴附固定膜。

第二方面，本发明还提供一种光学基片，光学基片采用上述任一光学基片的制作方法制作而成。

相较于现有技术，本发明实施例提供的光学基片的制作方法及光学基片，制作方法包括：首先提供母板基片，然后对母板基片的部分区域镀膜以制作包括基片主体部和光学窗口部的光学玻璃基片；并在基片主体部的第一表面形成金属层；然后机械切割金属层以移除部分金属层，以实现对光学玻璃基片的第一次预切割；接着从第二表面激光切割，以实现对光学玻璃基片的第二次预切割，以形成多个光学基片。此方法金属层是利用机械切割的方式部分移除，激光切割作用于光学玻璃基片的无金属层的表面，机械切割不会因切割高温而造成对金属层的损坏；此外，此方法提升了光学基片的良率以及生产效率，适于光学基片的批量生产。

本发明的这些方面或其他方面在以下实施例的描述中会更加简明易懂。

附图说明