[发明专利]一种防止基板变形的夹具在审
申请号: | 202110542521.X | 申请日: | 2021-05-18 |
公开(公告)号: | CN115376990A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 张伟 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 变形 夹具 | ||
本发明提供一种防止基板变形的夹具,用于在芯片封装时,对基板进行固定,以防基板变形;包括基板固定座1,导柱2,压板3和固定槽4;所述导柱2固定设置在所述基板固定座1的四角处;所述压板3的两端与所述导柱2固定连接,在导柱2上上下滑动位移,用于压住芯片;所述固定座1上表面的中部还设置有固定槽4,用于放置基板;本发明的有益效果:提高芯片封装过程中的良品率。
技术领域
本发明主要涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种防止基板变形的夹具。
背景技术
现有的半导体封装基板可运用于半导体封装作业承载晶片,半导体封装基板应具有电性互连、耐高温与可承载晶片的抗变形等特性。在半导体封装作业中,晶片接合与封胶体固化皆会使基板处于高温状态,晶片接合需要的温度较高但时间短,封胶体固化需要的温度较低但时间长。特别是可挠性/软性基板,在烘烤炉内长时间的加热加上承载晶片的重量,基板的两传输侧至晶片侧的区段容易发生变形的下沉塌陷,影响产品的外观,甚至会导致后续表面接合的困难。
发明内容
针对现有技术的上述缺陷,本发明提供一种防止基板变形的夹具,用于在芯片封装时,对基板进行固定,以防基板变形。
本发明提供一种防止基板变形的夹具,包括基板固定座1,导柱2,压板3和固定槽4;
所述导柱2固定设置在所述基板固定座1的四角处;所述压板3的两端与所述导柱2固定连接,在导柱2上上下滑动位移,用于压住芯片;所述固定座1上表面的中部还设置有固定槽4,用于放置基板。
优选的,所述导柱2侧面还设置有滑动槽21;所述压板3的两端固定设置在所述滑动槽21内;所述压板3两端的所述滑动槽21相对设置。
优选的,所述滑动槽21内还设置有弹簧;所述弹簧设置在所述压板3的上侧。
优选的,所述压板3靠近所述固定槽4的一侧边缘向下延伸处凸块。
优选的,所述压板3外表面设置有绝缘涂层。
优选的,所述绝缘涂层为陶瓷涂层。
优选的,所述固定槽4底部还设置有加热腔。
本发明的有益效果:提高芯片封装过程中的良品率。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图中,
1、基板固定座;2、导柱,21、滑动槽;3、压板;4、固定槽;5、加固座。
具体实施方式
下面结合附图对本实用进行详细描述,本部分的描述仅是示范性和解释性,不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
本发明提供一种防止基板变形的夹具,包括基板固定座1,导柱2,压板3和固定槽4;
所述导柱2固定设置在所述基板固定座1的四角处;所述压板3的两端与所述导柱2固定连接,在导柱2上上下滑动位移,用于压住芯片;所述固定座1上表面的中部还设置有固定槽4,用于放置基板。
本实施例中优选的,所述导柱2侧面还设置有滑动槽21;所述压板3的两端固定设置在所述滑动槽21内;所述压板3两端的所述滑动槽21相对设置。
本实施例中优选的,所述滑动槽21内还设置有弹簧;所述弹簧设置在所述压板3的上侧。
设置上述结构,用于调节压板3的位置,将压板3压覆在放置在固定槽4内的基板上表面。
本实施例中优选的,所述压板3靠近所述固定槽4的一侧边缘向下延伸处凸块。
设置上述结构,用于更贴合压覆基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造