[发明专利]一种防止基板变形的夹具在审

专利信息
申请号: 202110542521.X 申请日: 2021-05-18
公开(公告)号: CN115376990A 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 张伟 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 赵华
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 防止 变形 夹具
【说明书】:

发明提供一种防止基板变形的夹具,用于在芯片封装时,对基板进行固定,以防基板变形;包括基板固定座1,导柱2,压板3和固定槽4;所述导柱2固定设置在所述基板固定座1的四角处;所述压板3的两端与所述导柱2固定连接,在导柱2上上下滑动位移,用于压住芯片;所述固定座1上表面的中部还设置有固定槽4,用于放置基板;本发明的有益效果:提高芯片封装过程中的良品率。

技术领域

本发明主要涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种防止基板变形的夹具。

背景技术

现有的半导体封装基板可运用于半导体封装作业承载晶片,半导体封装基板应具有电性互连、耐高温与可承载晶片的抗变形等特性。在半导体封装作业中,晶片接合与封胶体固化皆会使基板处于高温状态,晶片接合需要的温度较高但时间短,封胶体固化需要的温度较低但时间长。特别是可挠性/软性基板,在烘烤炉内长时间的加热加上承载晶片的重量,基板的两传输侧至晶片侧的区段容易发生变形的下沉塌陷,影响产品的外观,甚至会导致后续表面接合的困难。

发明内容

针对现有技术的上述缺陷,本发明提供一种防止基板变形的夹具,用于在芯片封装时,对基板进行固定,以防基板变形。

本发明提供一种防止基板变形的夹具,包括基板固定座1,导柱2,压板3和固定槽4;

所述导柱2固定设置在所述基板固定座1的四角处;所述压板3的两端与所述导柱2固定连接,在导柱2上上下滑动位移,用于压住芯片;所述固定座1上表面的中部还设置有固定槽4,用于放置基板。

优选的,所述导柱2侧面还设置有滑动槽21;所述压板3的两端固定设置在所述滑动槽21内;所述压板3两端的所述滑动槽21相对设置。

优选的,所述滑动槽21内还设置有弹簧;所述弹簧设置在所述压板3的上侧。

优选的,所述压板3靠近所述固定槽4的一侧边缘向下延伸处凸块。

优选的,所述压板3外表面设置有绝缘涂层。

优选的,所述绝缘涂层为陶瓷涂层。

优选的,所述固定槽4底部还设置有加热腔。

本发明的有益效果:提高芯片封装过程中的良品率。

附图说明

图1为本发明结构示意图;

图中,

1、基板固定座;2、导柱,21、滑动槽;3、压板;4、固定槽;5、加固座。

具体实施方式

下面结合附图对本实用进行详细描述,本部分的描述仅是示范性和解释性,不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。

本发明提供一种防止基板变形的夹具,包括基板固定座1,导柱2,压板3和固定槽4;

所述导柱2固定设置在所述基板固定座1的四角处;所述压板3的两端与所述导柱2固定连接,在导柱2上上下滑动位移,用于压住芯片;所述固定座1上表面的中部还设置有固定槽4,用于放置基板。

本实施例中优选的,所述导柱2侧面还设置有滑动槽21;所述压板3的两端固定设置在所述滑动槽21内;所述压板3两端的所述滑动槽21相对设置。

本实施例中优选的,所述滑动槽21内还设置有弹簧;所述弹簧设置在所述压板3的上侧。

设置上述结构,用于调节压板3的位置,将压板3压覆在放置在固定槽4内的基板上表面。

本实施例中优选的,所述压板3靠近所述固定槽4的一侧边缘向下延伸处凸块。

设置上述结构,用于更贴合压覆基板。

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