[发明专利]基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器

权利要求书

1.一种基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，其特征在于：包括自下而上依次层叠设置的金属基底、电子传输层、半透明光电转换层；

其中，金属基底作为光电探测器的下电极；

半透明光电转换层作为光电探测器的上电极，采用碳纳米管薄膜；

电子传输层采用二氧化钛纳米管阵列；

所述上电极依次通过上电极引线、电信号检测设备以及下电极引线与下电极构成回路；且上电极与上电极引线连接的区域下方设置有绝缘层。

2.根据权利要求1所述基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，其特征在于：

所述金属基底采用厚度为0.5-5毫米的钛片。

3.根据权利要求2所述基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，其特征在于：

所述碳纳米管薄膜采用直径为1-10纳米的碳纳米管。

4.根据权利要求1-3任一所述基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，其特征在于：

所述二氧化钛纳米管阵列采用外径100-200纳米、壁厚30-60纳米、管长400-550纳米的二氧化钛纳米管组成。

5.根据权利要求4所述基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，其特征在于：

所述二氧化钛纳米管的顶部为开口、底部为闭口，且横截面呈圆形或多边形。

6.根据权利要求5所述基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，其特征在于：

所述碳纳米管薄膜的中部与电子传输层接触，两侧与电子传输层间均设置有绝缘层。

7.根据权利要求6所述基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，其特征在于：

所述电信号检测设备为安捷伦B2911A型测量源表。