[发明专利]智能压力平衡控制系统

说明书

本发明公开了智能压力平衡控制系统，包括反应炉，所述反应炉的内壁固定连接有多个压强检测器，所述反应炉的两侧分别固定连接有进气端和出气端，所述反应炉的一侧设有用于增加反应炉内压强的加压组件，所述反应炉的另一侧设有用于降低反应炉内压强的降压组件，所述反应炉的一侧固定连接有控制面板，本发明结构简单，使用方便，通过启动驱动电机和第一电动推杆可以分别打开进气端与出气端，方便平衡反应炉内的压强，且通过启动转动电机和第二电动推杆可以使反应炉内的气体分布均匀，方便在反应炉内不同位置的压强检测器检测到准确的压强，进而方便控制面板控制驱动电机、第一电动推杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。

技术领域

本发明涉及压力平衡控制技术领域，尤其涉及智能压力平衡控制系统。

背景技术

半导体或太阳能扩散炉设备中，传统的扩散炉生产工艺中采用非闭管方式，此种方式由于对炉内的压力没有约束和控制，不能达到相应的炉内压力平衡，所以传统设备在工艺水平上想要实现扩散工艺中炉内压力平衡的标准具有一定的难度，随着半导体工业的飞速发展，对扩散工艺均匀性及工艺扩展性的要求越来越高，同时对于扩散设备的炉内压力控制提出了相应的全新标准，因此，扩散炉炉内压力平衡的实现是半导体工业发展的一个关键环节。

现有技术中，无法有效、精准的对炉内压力进行平衡控制，因此导致无法提高工艺水平，且在控制炉内压力平衡时，由于炉内气体分布不均匀，因此无法对炉内的压强进行准确的检测。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的智能压力平衡控制系统。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

智能压力平衡控制系统，包括反应炉，所述反应炉的内壁固定连接有多个压强检测器，所述反应炉的两侧分别固定连接有进气端和出气端，所述反应炉的一侧设有用于增加反应炉内压强的加压组件，所述反应炉的另一侧设有用于降低反应炉内压强的降压组件，所述反应炉的一侧固定连接有控制面板，所述反应炉内设有用于使反应炉内气体分布均匀的搅拌组件。

优选地，所述加压组件包括设置在反应炉一侧的抽气泵，所述抽气泵的出气管延伸至进气端内，所述进气端内滑动连接有挡板，且挡板的顶部滑动贯穿进气端的顶部，所述进气端的顶部转动连接有转轮，所述转轮的外壁设有滑槽，所述挡板的一侧顶部固定连接有与滑槽滑动连接的连接块，所述进气端的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与转轮通过齿轮传动。

优选地，所述降压组件包括设置在反应炉另一侧的吸气泵，所述吸气泵的吸气管延伸至出气端内，所述出气端内呈横向转动连接有转轴，所述转轴的外壁固定套设有转动板，且转动板的顶部与底部分别与出气端的顶部内壁与底部内壁相碰触，所述转轴的一端转动贯穿出气端的一侧并固定连接有第一齿轮，所述出气端的一侧固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的活塞杆固定连接有与第一齿轮相啮合的第一齿条。

优选地，所述搅拌组件包括设置在反应炉一侧的转动电机，所述反应炉内呈横向转动连接有两个相对称的转动杆，所述转动杆的外壁固定套设有圆套，所述圆套的外壁等距固定连接有多个搅拌叶，两个所述转动杆靠近转动电机的一端均延伸至反应炉的一侧并均固定连接有第一同步轮，所述转动电机的输出轴与其中一个转动杆的一端固定连接，所述反应炉靠近转动电机的一侧转动连接有第二同步轮和第三同步轮，所述第二同步轮、第三同步轮和两个第一同步轮上传动连接有同一个同步带。

优选地，所述反应炉内转动连接有与转动杆呈垂直方向的转动轴，所述转动轴的外壁固定套设有位于两个圆套之间的滑动套，所述滑动套内滑动连接有两个相对称的滑动杆，所述滑动杆远离转动轴的一端均转动连接有与圆套的外壁滑动连接的滑块，所述转动轴的一端延伸至反应炉的一侧并固定连接有第二齿轮，所述反应炉的一侧固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的活塞杆固定连接有与第二齿轮相啮合的第二齿条。

优选地，所述进气端的顶部设有密封圈，且挡板的一侧滑动贯穿密封圈，通过密封圈可以增加进气端的密封性。