[发明专利]一种具有能量回收功能的极紫外收集镜及其制备方法

权利要求书

1.一种具有能量回收功能的极紫外收集镜，其特征在于，包括：基底、设置于所述基底上的多层膜、设置于所述多层膜上的表面反射微结构及沉积于所述表面反射微结构的红外反射层；

所述表面反射微结构由分布在所述多层膜表面的Si材料制成的单元结构构成；

任意一单元结构至少具有一个反射面，所述单元结构的层最高厚度不超过50nm；

所述单元结构的反射面与主焦点为中心的球面相切，所述主焦点为激光与靶材的作用点。

2.根据权利要求1所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜，其特征在于，所述基底为表面经过超光滑抛光的、表面粗糙度在0.2nm以下的Si或熔石英或微晶玻璃或ULE或Al或SiC材料。

3.根据权利要求1所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜，其特征在于，所述多层膜为由Mo和Si两种材料构成的周期性多层膜。

4.根据权利要求3所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜，其特征在于，所述周期性多层膜的周期数为40～50。

5.根据权利要求4所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜，其特征在于，所述周期性多层膜的周期厚度为6.9nm。

6.根据权利要求5所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜，其特征在于，所述周期性多层膜的Mo材料厚度占周期厚度的40％。

7.根据权利要求1所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜，其特征在于，所述红外反射层由Mo或Ru对红外光高反的材料构成，所述红外反射层厚度为5nm。

8.一种权利要求1至7任一项所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：

提供一基底；

在所述基底表面制备多层膜；

在所述多层膜表面制备表面反射微结构；

在所述表面反射微结构沉积红外反射层。

9.根据权利要求8所述的具有能量回收功能的极紫外收集镜的制备方法，其特征在于，

在所述基底表面制备多层膜，具体包括：利用磁控溅射在所述基底表面制备多层膜；

在所述多层膜表面制备表面反射微结构，具体包括：利用磁控溅射在所述多层膜表面制备Si层，利用灰度光刻技术，制备所述表面反射微结构；

在所述表面反射微结构沉积红外反射层，具体包括：利用磁控溅射在所述表面反射微结构上沉积所述红外反射层。