[发明专利]非球面氮气退火炉在审
| 申请号: | 202110526450.4 | 申请日: | 2021-05-14 |
| 公开(公告)号: | CN113284824A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
| 发明(设计)人: | 陈宜隆 | 申请(专利权)人: | 襄阳市赛龙机械有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 441000 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 球面 氮气 退火炉 | ||
1.非球面氮气退火炉,包括退火炉主体(1),其特征在于:所述退火炉主体(1)包括有炉体(2),所述炉体(2)内设有内炉腔(3),所述炉体(2)与内炉腔(3)之间设有隔热套(4),所述内炉腔(3)安装有若干加热组件(5),若干所述加热组件(5)均匀的布置在内炉腔(3)上,所述炉体(2)顶部设有密封槽,所述密封槽内安装有密封圈(6),所述密封圈(6)顶部连接有炉盖(7),所述炉盖(7)底部连接有退火架(8),所述退火架(8)安装有若干放置板(9),所述炉盖(7)底部一侧安装有气体检测器(10),所述炉盖(7)的一侧连接有氮气出气管(11),所述氮气出气管(11)内安装有电磁阀(12),所述氮气出气管(11)的另一侧连接有废气回收箱(13),所述废气回收箱(13)底部连接有安装套(14),所述安装套(14)安装在炉盖(7)顶部,所述安装套(14)内安装有伺服电机(15),所述伺服电机(15)的动力输出端连接有旋转杆(16),所述旋转杆(16)贯穿炉盖(7)并延伸至其底部,所述旋转杆(16)底部连接有风扇(17),所述炉体(2)底部连接有安装座(18),所述安装座(18)底部四个角落连接有站脚(19),四个所述站脚(19)之间固定连接有承板(20),所述承板(20)表面安装有氮气储存箱(21),所述氮气储存箱(21)的一侧连接有加气管(22),所述氮气储存箱(21)顶部连接有出气管(23),所述出气管(23)连接有气泵(24),所述气泵(24)安装在安装座(18)底部,所述出气管(23)的另一侧依次贯穿安装座(18)、炉体(2)、隔热套(4)和内炉腔(3)并连接有出气盘(25),所述出气盘(25)安装在内炉腔(3)的底部,所述出气盘(25)连接有若干喷头(26),所述安装座(18)表面连接有立柱(27),所述立柱(27)顶部连接有顶板(28),所述顶板(28)设有通槽(29),所述顶板(28)底部连接有液压气缸(30),所述液压气缸(30)的动力输出端与炉盖(7)相连接。
2.根据权利要求1所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述炉体(2)表面连接有T型柱(31),所述T型柱(31)的两侧设有倾斜面(32),所述炉盖(7)在对应T型柱(31)处设有凹槽(33),所述凹槽(33)的两侧设有安装槽(34),所述安装槽(34)内安装有压缩弹簧(35),所述压缩弹簧(35)的自由端连接有限位板(36),所述限位板(36)安装在安装槽(34)内,所述限位板(36)连接有限位卡块(37),所述限位卡块(37)设有与倾斜面(32)相匹配的斜面(38)。
3.根据权利要求2所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述T型柱(31)顶部设有镶嵌槽,所述镶嵌槽内安装有负极磁铁(39),所述负极磁铁(39)连接有正极磁铁(40),所述正极磁铁(40)安装在凹槽(33)顶部。
4.根据权利要求3所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述炉盖(7)两侧焊接有导向板(41),所述导向板(41)设有导向孔,所述导向孔内安装有导柱(42),所述导柱(42)安装在顶板(28)与安装座(18)之间。
5.根据权利要求4所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述出气管(23)连接有流量调节阀(43)。
6.根据权利要求5所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述站脚(19)与承板(20)连接处设有三角形加强筋(44)。
7.根据权利要求6所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述站脚(19)底部连接有橡胶脚垫(45),所述橡胶脚垫(45)底部设有耐磨防滑纹。
8.根据权利要求7所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述旋转杆(16)连接有轴承密封套,所述轴承密封套安装在炉盖(7)内。
9.根据权利要求8所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述安装套(14)顶部四个角落设有定位插孔,所述定位插孔内安装有定位插杆(46),所述定位插杆(46)固定安装在废气回收箱(13)的底部。
10.根据权利要求9所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述炉盖(7)与退火架(8)为一体成型结构设置。
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