[发明专利]非球面氮气退火炉在审

专利信息
申请号: 202110526450.4 申请日: 2021-05-14
公开(公告)号: CN113284824A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 陈宜隆 申请(专利权)人: 襄阳市赛龙机械有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 441000 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 球面 氮气 退火炉
【权利要求书】:

1.非球面氮气退火炉,包括退火炉主体(1),其特征在于:所述退火炉主体(1)包括有炉体(2),所述炉体(2)内设有内炉腔(3),所述炉体(2)与内炉腔(3)之间设有隔热套(4),所述内炉腔(3)安装有若干加热组件(5),若干所述加热组件(5)均匀的布置在内炉腔(3)上,所述炉体(2)顶部设有密封槽,所述密封槽内安装有密封圈(6),所述密封圈(6)顶部连接有炉盖(7),所述炉盖(7)底部连接有退火架(8),所述退火架(8)安装有若干放置板(9),所述炉盖(7)底部一侧安装有气体检测器(10),所述炉盖(7)的一侧连接有氮气出气管(11),所述氮气出气管(11)内安装有电磁阀(12),所述氮气出气管(11)的另一侧连接有废气回收箱(13),所述废气回收箱(13)底部连接有安装套(14),所述安装套(14)安装在炉盖(7)顶部,所述安装套(14)内安装有伺服电机(15),所述伺服电机(15)的动力输出端连接有旋转杆(16),所述旋转杆(16)贯穿炉盖(7)并延伸至其底部,所述旋转杆(16)底部连接有风扇(17),所述炉体(2)底部连接有安装座(18),所述安装座(18)底部四个角落连接有站脚(19),四个所述站脚(19)之间固定连接有承板(20),所述承板(20)表面安装有氮气储存箱(21),所述氮气储存箱(21)的一侧连接有加气管(22),所述氮气储存箱(21)顶部连接有出气管(23),所述出气管(23)连接有气泵(24),所述气泵(24)安装在安装座(18)底部,所述出气管(23)的另一侧依次贯穿安装座(18)、炉体(2)、隔热套(4)和内炉腔(3)并连接有出气盘(25),所述出气盘(25)安装在内炉腔(3)的底部,所述出气盘(25)连接有若干喷头(26),所述安装座(18)表面连接有立柱(27),所述立柱(27)顶部连接有顶板(28),所述顶板(28)设有通槽(29),所述顶板(28)底部连接有液压气缸(30),所述液压气缸(30)的动力输出端与炉盖(7)相连接。

2.根据权利要求1所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述炉体(2)表面连接有T型柱(31),所述T型柱(31)的两侧设有倾斜面(32),所述炉盖(7)在对应T型柱(31)处设有凹槽(33),所述凹槽(33)的两侧设有安装槽(34),所述安装槽(34)内安装有压缩弹簧(35),所述压缩弹簧(35)的自由端连接有限位板(36),所述限位板(36)安装在安装槽(34)内,所述限位板(36)连接有限位卡块(37),所述限位卡块(37)设有与倾斜面(32)相匹配的斜面(38)。

3.根据权利要求2所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述T型柱(31)顶部设有镶嵌槽,所述镶嵌槽内安装有负极磁铁(39),所述负极磁铁(39)连接有正极磁铁(40),所述正极磁铁(40)安装在凹槽(33)顶部。

4.根据权利要求3所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述炉盖(7)两侧焊接有导向板(41),所述导向板(41)设有导向孔,所述导向孔内安装有导柱(42),所述导柱(42)安装在顶板(28)与安装座(18)之间。

5.根据权利要求4所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述出气管(23)连接有流量调节阀(43)。

6.根据权利要求5所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述站脚(19)与承板(20)连接处设有三角形加强筋(44)。

7.根据权利要求6所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述站脚(19)底部连接有橡胶脚垫(45),所述橡胶脚垫(45)底部设有耐磨防滑纹。

8.根据权利要求7所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述旋转杆(16)连接有轴承密封套,所述轴承密封套安装在炉盖(7)内。

9.根据权利要求8所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述安装套(14)顶部四个角落设有定位插孔,所述定位插孔内安装有定位插杆(46),所述定位插杆(46)固定安装在废气回收箱(13)的底部。

10.根据权利要求9所述的非球面氮气退火炉,其特征在于:所述炉盖(7)与退火架(8)为一体成型结构设置。

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