[发明专利]一种多维层流流体流量测量装置和流体流量检测方法

权利要求书

1.一种多维层流流体流量测量装置，其特征在于包括流体进管、第一多通阀、两个或两个以上串联的层流流量元件、第二多通阀、第三多通阀、压力传感器、温度传感器和流体出管，

所述流体进管、第一多通阀、层流流量元件、第二多通阀和流体出管通过流体管路顺次连接，

每个层流流量元件两端的流体管路上具有经多通接头连通的分支管路：

第一类分支管路：每个层流流量元件的每一端均与第一多通阀独立对应的阀口和第二多通阀独立对应的阀口连通；

第二类分支管路：每个层流流量元件两端分别与第三多通阀独立的阀口连通，第三多通阀与至少2个压力传感器连通；

流体管路设有至少一个温度传感器。

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于每个多通接头连通处设有一个温度传感器。

3.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述流量测量装置还具有流量计算模块，该计算模块通过导线与压力传感器和温度传感器连接。

4.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述压力传感器不少于2个，所述层流流量元件不少于2个。

5.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述每个层流流量元件的层流管管径和/或层流管长度不同，但是一次测量中至少有两个层流流量元件的量程涵盖被测流量值。

6.如权利要求1-5任一项所述的测量装置，其特征在于在流体进管和/或流体出管上设有截止阀和/或过滤元件。

7.一种精确测量流体流量的方法，其特征在于使用如权利要求1～6所述的多维层流流体流量测量装置，先确认装置内部无不可接受的泄露，然后分别正向和反向测定每个层流流量元件两端及多个串联的层流流量元件组两端的压力和温度数据，计算压差，采用泊松公式计算得到名义流量值的样本集合，对样本集合中的名义流量值进行数据处理：

(1)计算所有测定的名义流量值的平均值，若每个流量名义值和平均值之差均在其许用误差范围内，则取这些流量名义值的平均值为流量测量值；

(2)若样本集合中一个或多个流量名义值与平均值之差超出许用误差范围，则剔除超出许用误差范围最大的数值，计算其余的流量名义值新的平均值，继续比较流量名义值是否在其许用误差范围内，若每个流量名义值和新的平均值之差均在其许用误差范围内时，则取其余流量名义值的平均值为流量测量值；

(3)若其余流量名义值中一个或多个超出许用误差范围，则重复步骤(2)直至最终的样本集合中所有流量名义值均在许用误差范围内，取这些流量名义值的平均值为流量测量值；

(4)若重复步骤(2)至最终剩余三个数值，且其中有一个或多个数值超出许用误差范围，则判断本组测量数据不可用，应检查设备状态是否正常或重新检测。