[发明专利]一种基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统有效

专利信息
申请号: 202110513851.6 申请日: 2021-05-12
公开(公告)号: CN113008529B 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 彭琛;周文超;魏继锋;黄德权;常艳;蒋志雄;何均章 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 陈法君
地址: 621000 四川省*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 基于 激光 成像 口径 光学 元件 测量 系统
【权利要求书】:

1.一种基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述大口径光学元件测量系统包括:

激光器(1)、第一衍射光栅(2)、第一光束调节件(3)、第二光束调节件(5)、第二衍射光栅(6)、分光镜(7)、色散元件(8)、时间透镜模块(9)、高速探测系统(10),

所述激光器(1)被配置为实现宽光谱超快脉冲激光的输出;

所述第一衍射光栅(2)被配置为实现将接收的宽光谱超快脉冲激光转换为类线型光斑,并输出至第一光束调节件(3);

所述第一光束调节件(3)被配置为将接收的类线型光斑转换成矩形光斑,并照射于待测光学元件之上;

所述第二光束调节件(5)和第二衍射光栅(6)被配置将待测光学元件射出的光斑输出至分光镜(7);

所述分光镜(7)被配置为将接收的光束分成两束,并分别输出至色散元件(8)和时间透镜模块(9);

所述高速探测系统(10)被配置为对色散元件(8)和时间透镜模块(9)输出的光信号进行采集、存储和分析;

所述第一衍射光栅(2)被配置为:在夫琅禾费衍射条件下,将脉冲激光的频域信息映射到类线型的空间域,

所述第二衍射光栅(6)被配置为:在夫琅禾费衍射条件下,实现类线型的空间到频域的映射。

2.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述待测光学元件被配置为将接收的光斑以透射或反射的方式射出。

3.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述色散元件(8)为实现待测光的傅里叶色散变换,实现对待测光束的振幅高速测量。

4.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述时间透镜模块(9)为实现对激光相位的高速测量。

5.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述第一光束调节件(3)被配置为:将类线型光斑转换成矩形光斑;

所述第二光束调节件(5)被配置为:将矩形光斑转换成线状光斑。

6.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述高速探测系统(10)包括高速探测器、高速数据采集卡、计算机或者示波器。

7.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述激光器(1)包括光纤输出或空间光输出的激光器。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院应用电子学研究所,未经中国工程物理研究院应用电子学研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110513851.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top