[发明专利]一种基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统有效
| 申请号: | 202110513851.6 | 申请日: | 2021-05-12 |
| 公开(公告)号: | CN113008529B | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
| 发明(设计)人: | 彭琛;周文超;魏继锋;黄德权;常艳;蒋志雄;何均章 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 陈法君 |
| 地址: | 621000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 激光 成像 口径 光学 元件 测量 系统 | ||
1.一种基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述大口径光学元件测量系统包括:
激光器(1)、第一衍射光栅(2)、第一光束调节件(3)、第二光束调节件(5)、第二衍射光栅(6)、分光镜(7)、色散元件(8)、时间透镜模块(9)、高速探测系统(10),
所述激光器(1)被配置为实现宽光谱超快脉冲激光的输出;
所述第一衍射光栅(2)被配置为实现将接收的宽光谱超快脉冲激光转换为类线型光斑,并输出至第一光束调节件(3);
所述第一光束调节件(3)被配置为将接收的类线型光斑转换成矩形光斑,并照射于待测光学元件之上;
所述第二光束调节件(5)和第二衍射光栅(6)被配置将待测光学元件射出的光斑输出至分光镜(7);
所述分光镜(7)被配置为将接收的光束分成两束,并分别输出至色散元件(8)和时间透镜模块(9);
所述高速探测系统(10)被配置为对色散元件(8)和时间透镜模块(9)输出的光信号进行采集、存储和分析;
所述第一衍射光栅(2)被配置为:在夫琅禾费衍射条件下,将脉冲激光的频域信息映射到类线型的空间域,
所述第二衍射光栅(6)被配置为:在夫琅禾费衍射条件下,实现类线型的空间到频域的映射。
2.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述待测光学元件被配置为将接收的光斑以透射或反射的方式射出。
3.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述色散元件(8)为实现待测光的傅里叶色散变换,实现对待测光束的振幅高速测量。
4.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述时间透镜模块(9)为实现对激光相位的高速测量。
5.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述第一光束调节件(3)被配置为:将类线型光斑转换成矩形光斑;
所述第二光束调节件(5)被配置为:将矩形光斑转换成线状光斑。
6.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述高速探测系统(10)包括高速探测器、高速数据采集卡、计算机或者示波器。
7.如权利要求1所述的基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,其特征在于,所述激光器(1)包括光纤输出或空间光输出的激光器。
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