[发明专利]基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器

权利要求书

1.基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器，它包括：包括上层金属谐振器（1）、中间介质层（2）以及底层连续金属层（3）；所述的金属谐振器（1）为是由金属单元结构组成的网格金属周期阵列结构，具有偏振特性；所述的金属单元结构包括：横杠（12）和竖条（11），它们相互垂直，横杠（12）至少一端与竖条（11）相连接；

所述金属单元结构的横杠（12）连接相邻的两竖条（11）；横杠（12）呈不对称设置。

2.根据权利要求1所述的基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器，其特征在于：在网格金属周期阵列结构中，金属单元结构呈独立的金属块、半独立半连续的金属块和/或连续的金属块状态；

所述的连续为相邻金属单元结构之间的横杠（12）与横杠（12）、竖条（11）与竖条（11）或横杠（12）与竖条（11），连续或连接成一体。

3.根据权利要求2所述的基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器，其特征在于：一个横杠（12）连接前两条相邻竖条（11）的上部，另一个横杠（12）连接后两条相邻竖条（11）的下部；在网格金属周期阵列结构中竖条（11）均连续，组成垂直方向的光栅结构，所述金属单元结构之间相邻的两条竖条（11）之间不设横杠（12）。

4.根据权利要求1、2或3所述的基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器，其特征在于：所述的金属谐振器（1）厚度t₁为0.05~0.3微米；

所述的介质层（2）厚度t₂为0.1~1.5微米；

所述的连续金属层（3）的厚度大于其金属材料在目标波段的趋肤深度；

所述金属谐振器（1）的金属单元结构，竖条（11）宽度w₁为0.1~1微米；竖条（11）之间的间距w₂为0.1~1微米；横杠（12）的高度h₂为0.03~1.2微米；横杠（12）距金属单元结构边界h为0.05~0.5微米；两横杠（12）间距h₁为0.2~3微米；两金属单元结构相邻竖条（11）的间距d为0.1~3微米。

5.根据权利要求4所述的基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器，其特征在于：所述金属谐振器（1）的材料为金属或金属化合物材料，包括：钛、镍、铬、钨、金、铝、银或铜，或它们的化合物。

6.根据权利要求5所述的基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器，其特征在于：所述的介质层（2）材料包括：锗、硅、氮化硅、二氧化硅、氮氧化硅、硒化锌、硫化锌、氟化镁、氟化钙或磷化铟。

7.根据权利要求6所述的基于简单网格结构的长波红外宽波段偏振敏感吸收器，其特征在于：所述的连续金属层3材料包括：钛、镍、铬、钨、金、铝、银或铜，或它们的化合物。