[发明专利]激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置及光谱分析系统

说明书

本申请公开了一种激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置及光谱分析系统。其中，激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置包括激光器、聚焦透镜以及联动组件。联动组件包括平台以及设置在平台上的光谱采集部件，样品放置在平台上。激光器发出的激光经过聚焦透镜，聚焦在样品表面、样品表面以上或样品表面以下的某一个位置，激光与样品表面相交的位置为作用点。光谱采集部件跟随平台移动，且采集方向始终与激光作用点的相对位置始终保持不变。本申请的激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置实现了光谱采集部件与平台共同运动，使得光路调节更加便捷，提高了光路稳定性。

技术领域

本申请涉及原子发射光谱领域，尤其涉及一种激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置及光谱分析系统。

背景技术

激光诱导击穿光谱分析系统使用高峰值功率的脉冲激光照射样品，光束聚焦到一个很小的分析点。在激光照射的光斑区域，样品中的材料被烧蚀剥离，并在样品上方形成粒子云团。由于激光的能量显著地被该云团吸收，逐渐形成等离子体。高能量的等离子体使粒子熔化，激发并辐射出光谱。等离子中的原子、离子及分子发出的光可以被探测器接收并记录，通过对光谱的特征波长和强度信息进行分析，可获得被测样品中存在的不同元素成分和浓度信息。

然而，激光诱导击穿光谱分析系统的测量结果容易受到实验参数波动性的影响，导致测量的精密度和准确性较差。尤其是被测样品表面与激光束聚焦透镜焦平面的相对位置将对测量光谱的稳定性具有较大的影响。为克服上述因素的影响，传统的调整方法是通过导轨不断移动样品台，调节样品表面的位置。然而改变样品表面位置将引起激发的等离子体位置发生改变，导致激发的等离子体和光谱采集透镜的相对位置发生变化，激光诱导击穿光谱分析系统中的光谱采集透镜位置也要随之不断调整，从而使整个调整步骤重复繁琐，耗时耗力。另外，光谱采集透镜的口径小，视角小，稍有偏移便引起接收光强较大改变，导致移动前后数据测量条件不同，无法比较。

发明内容

为解决上述问题，本申请提出了一种激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置及光谱分析系统。

本申请的第一个目的在于提出一种激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置，能够在调节光路时更加便捷，提高光路稳定性和一致性。

本申请的第二个目的在于提出一种激光诱导击穿光谱分析系统。

本申请的第三个目的在于提出一种光谱分析方法。

为实现上述第一个目的，本申请提出一种激光诱导击穿光谱分析系统的联动装置，包括激光器、聚焦透镜、联动组件，

所述联动组件包括平台以及设置在所述平台上的光谱采集部件；

样品放置在所述平台上；

所述激光器发出的激光经过所述聚焦透镜，聚焦在所述样品上的作用点。

所述光谱采集部件跟随所述平台移动，且采集方向始终对准所述作用点。

可选的，所述光谱采集部件和所述平台沿所述激光的光轴方向移动。

可选的，所述联动装置还包括旋转件，所述旋转件固定在所述平台上，所述样品固定在所述旋转件上。

可选的，所述光谱采集部件包括光谱采集透镜、横连杆以及竖连杆，

所述竖连杆固定在所述平台上；

所述横连杆与所述竖连杆活动连接，所述横连杆可沿所述竖连杆移动；

所述光谱采集透镜与所述横连杆活动连接，所述光谱采集透镜可沿所述横连杆移动和/或围绕所述横连杆旋转，使得所述光谱采集透镜的采集方向始终对准所述作用点。

可选的，所述横连杆和所述竖连杆为刚性连杆。

可选的，所述光谱采集透镜与所述作用点的相对位置固定不变。