[发明专利]Micro LED显示面板及其制备方法

权利要求书

1.一种Micro LED显示面板，其特征在于，包括：

衬底；

位于所述衬底上方且背向所述衬底层叠设置的缓冲层、有源层、第一栅绝缘层；

设置在所述第一栅绝缘层上的栅极、阳极、阴极；

设置在第一栅绝缘层上方的第二栅绝缘层、层间绝缘层、平坦层，所述第二栅绝缘层、所述层间绝缘层、所述平坦层贯穿设置有第一过孔；

其中，所述阳极和所述阴极下沉到与栅极同层且相互绝缘设置，所述第一过孔的底部延伸至所述阳极和所述阴极所在层，所述阳极和所述阴极部分外露在所述第一过孔内，所述第一过孔内还设置有LED芯片和量子点色转换层，所述LED芯片分别与所述阳极、所述阴极连接，所述量子点色转换层设置在所述LED芯片背向所述衬底的一侧，且所述量子点色转换层的厚度小于或等于所述第一过孔的高度。

2.如权利要求1所述的Micro LED显示面板，其特征在于，在所述第一过孔内，所述阳极、所述阴极的部分表面以及所述第一过孔的内侧壁设置有反射层。

3.一种Micro LED显示面板制备方法，其特征在于，包括：

提供一阵列基板，所述阵列基板包括衬底、设置在所述衬底上的缓冲层、设置在所述缓冲层上的有源层、设置在所述有源层上的第一栅绝缘层；

在所述第一栅绝缘层上形成一金属膜层，将所述金属膜层制备得到同层且绝缘设置的栅极、阳极、阴极；

在所述第一栅绝缘层上制备得到第二栅绝缘层、层间绝缘层；

在所述第二栅绝缘层、所述层间绝缘层内形成第一过孔、第二过孔、第三过孔，所述第一过孔使所述阳极和所述阴极部分外露；

在所述第二栅绝缘层上制备得到源极、漏极，所述源极、所述漏极通过所述第三过孔与所述有源层连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述阳极连接；

提供LED芯片，将所述LED芯片转移到所述第一过孔内；

在第一过孔内，在所述LED芯片上方通过喷墨打印的方式制备得到量子点色转换层，经过烘干、固化后形成的所述量子点色转换层的厚度小于或等于所述第一过孔的深度。

4.如权利要求3所述的Micro LED显示面板制备方法，其特征在于，形成所述第一过孔使所述阳极和所述阴极部分外露的步骤还包括:

在所述阳极和所述阴极外露区域的部分表面形成反射层。

5.如权利要求4所述的Micro LED显示面板制备方法，其特征在于，形成所述第一过孔使所述阳极和所述阴极部分外露的步骤还包括:

在所述第一过孔的内侧壁也形成有所述反射层。

6.如权利要求3所述的Micro LED显示面板制备方法，其特征在于，提供LED芯片的步骤还包括：

提供的所述LED芯片为蓝光LED芯片。

7.如权利要求6所述的Micro LED显示面板制备方法，其特征在于，将所述LED芯片转移到所述第一过孔内的步骤还包括：

将提供的LED芯片分别与所述阳极和所述阴极连接设置。

8.如权利要求7所述的Micro LED显示面板制备方法，其特征在于，在所述LED芯片上方通过喷墨打印的方式制备得到量子点色转换层的步骤还包括：

采用喷墨打印的方式在所述第一过孔内形成所述量子点色转换层。