[发明专利]一种晶圆真空搬运机械手

权利要求书

1.一种晶圆真空搬运机械手，包括第一机械臂(1)、第二机械臂(2)、取片叉(3)、位于第一机械臂(1)下端的驱动机构(4)，其特征在于：还包括设置在驱动机构(4)上端且用于连接外部真空腔体的法兰盘(5)、位于驱动机构(4)外侧的机壳(6)，所述第一机械臂(1)包括第一外壳(11)、下端与驱动机构(4)连接且上端与第一外壳(11)固定的第一转轴(12)、与驱动机构(4)连接且转动连接在第一转轴(12)周侧的第一齿轮(13)、转动连接在第一外壳(11)远离第一转轴(12)一端处的第二齿轮(14)、设置在第一齿轮(13)和第二齿轮(14)之间的第一皮带(15)、与第一外壳(11)固定且位于第二齿轮(14)内部的第二转轴(16)，所述第二机械臂(2)包括与第二齿轮(14)固定的第二外壳(21)、转动连接在第二外壳(21)内且与第二转轴(16)固定的第三齿轮(22)、转动连接在第二外壳(21)远离第三齿轮(22)的一端上且与取片叉(3)固定的第四齿轮(23)、设置在第三齿轮(22)和第四齿轮(23)之间的第二皮带(24)，所述驱动机构(4)包括设置在机壳(6)内的基座(41)、设置在基座(41)上且用于连接第一机械臂(1)的支架(42)、设置在基座(41)上用于驱动支架(42)上下移动的第一驱动件(43)、设置在支架(42)内且用于驱动第一转轴(12)转动的第二驱动件(44)、设置在支架(42)内且用于驱动第一齿轮(13)转动的第三驱动件(45)；所述第一驱动件(43)包括固定在基座(41)上的第一电机(431)、与第一电机(431)的输出轴连接的驱动丝杆(432)、连接在驱动丝杆(432)上的丝杆螺母(433)、固定在支架(42)上且与丝杆螺母(433)固定连接的卡块(434)；所述第二驱动件(44)包括固定在支架(42)下端的第二电机(441)、与第二电机(441)的输出轴连接的连接轴(442)、连接第一转轴(12)与连接轴(442)的联轴器(443)；所述第三驱动件(45)包括固定在支架(42)侧边上的第三电机(451)、与第三电机(451)输出轴连接的驱动齿轮(452)、位于支架(42)内且转动连接在第一转轴(12)周侧的从动齿轮(453)、设置在驱动齿轮(452)和从动齿轮(453)之间的驱动皮带(454)、中部供第一转轴(12)穿过且与从动齿轮(453)连接的离合器(455)、上端与第一齿轮(13)连接且下端与离合器(455)连接的轴套(456)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆真空搬运机械手，其特征在于：所述轴套(456)与第一转轴(12)之间的间隙内充入有磁流体。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆真空搬运机械手，其特征在于：所述支架(42)的上端设置有上端穿过法兰盘(5)且供轴套(456)在内部转动连接的包裹套(7)，所述包裹套(7)与轴套(456)之间的缝隙内也充入有磁流体。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆真空搬运机械手，其特征在于：所述包裹套(7)的外侧设置有上端与法兰盘(5)连接且下端与包裹套(7)底部连接的波纹伸缩套(8)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆真空搬运机械手，其特征在于：所述波纹伸缩套(8)的上下两端均设置有橡胶密封圈(81)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆真空搬运机械手，其特征在于：所述第一外壳(11)和第二外壳(21)内均设置有抵紧在第一皮带(15)和第二皮带(24)上的张紧轮(9)。