[发明专利]一种高速透平真空泵的开机控制方法和抽真空系统

权利要求书

1.一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、控制模块接收用户设定的高速透平真空泵的预设真空度和开机指令，并控制所述高速透平真空泵开机；

S2、控制与所述高速透平真空泵的进气口连通的防喘振阀门开启到第一设定开度，然后控制所述高速透平真空泵升速；所述高速透平真空泵的进气口处于完全关闭状态，然后将所述防喘振阀门全开，控制所述高速透平真空泵达到第一开机转速，此时，调整所述防喘振阀门的开度，直至所述高速透平真空泵的转速处于小于所述第一开机转速的预设转速范围时，此时，所述防喘振阀门的开度为所述第一设定开度；

S3、当所述高速透平真空泵达到第一开机转速后，所述控制模块判断所述高速透平真空泵的进气口的真空度与所述预设真空度的大小，如果等于，则保持所述第一开机转速，如果大于所述预设真空度，则进入步骤S4，如果小于所述预设真空度，进入步骤S5；

S4、控制所述高速透平真空泵进行降速，直至所述高速透平真空泵的所述进气口的所述真空度满足所述预设真空度的要求；

S5、控制所述高速透平真空泵的输入电流升高，使得所述高速透平真空泵的转速继续上升，直至所述输入电流为所述高速透平真空泵的额定电流。

2.根据权利要求1所述的一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，所述步骤S5中，当所述输入电流为所述高速透平真空泵的额定电流时，判断所述高速透平真空泵的进气口的真空度是否大于所述预设真空度，如果是，则执行步骤S4，否则，则保持当前转速。

3.根据权利要求1所述的一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，所述预设真空度为预设真空范围，所述步骤S4中，所述高速透平真空泵的所述进气口的所述真空度满足所述预设真空度的要求时，则所述真空度处于所述预设真空范围。

4.根据权利要求1所述的一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，所述高速透平真空泵的进气口和出气口均处于完全开路的状态时，控制所述高速透平真空泵以额定电流工作，此时测得的所述高速透平真空泵的转速为第一开机转速。

5.根据权利要求1所述的一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，所述预设转速范围为所述第一开机转速的95%-99%。

6.根据权利要求1所述的一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，所述高速透平真空泵与变频器电连接，所述控制模块通过控制所述变频器控制所述高速透平真空泵的输入电流。

7.根据权利要求1所述的一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，所述高速透平真空泵的进气口处设置有真空度检测器，所述真空度检测器与所述控制模块电连接。

8.根据权利要求1所述的一种高速透平真空泵的开机控制方法，其特征在于，所述高速透平真空泵上设置有转速传感器，所述转速传感器与所述控制模块电连接。

9.一种抽真空系统，其上设置有高速透平真空泵，其特征在于，使用如权利要求1-8任一项所述的高速透平真空泵的开机控制方法进行开机控制。