[发明专利]一种锆基复合抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种锆基复合抛光液，其特征在于，主要由以下重量百分比的组分组成：

研磨剂1~20 wt%；

分散剂0.05~2 wt%；

悬浮剂0.01~1 wt%；

氧化剂0.1~1.5 wt%；

pH调节剂0.1~10 wt%；

其余为去离子水；

其中，研磨剂中氧化锆的含量占5~15%，其余为氧化铝、金刚石、氮化硼中的一种或几种。

2.根据权利要求1所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，所述研磨剂中氧化锆的晶型为单斜晶型，粒径分布D₅₀在50~200 nm，D₁₀₀2 µm。

3.根据权利要求1所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，所述研磨剂组分中氧化铝为α-Al₂O₃，粒径分布D₅₀在50~150 nm，D₁₀₀1 µm。

4.根据权利要求1所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，所述研磨剂组合中金刚石及氮化硼的粒径分布D₅₀在20~100 nm，D₁₀₀0.5 µm。

5.根据权利要求1所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，所述分散剂为三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、焦磷酸钠、聚乙烯吡咯烷酮中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，所述悬浮剂为甲基纤维素、羟丙基甲基纤维素、羧甲基纤维素钠、聚丙烯酸钠、黄原胶、海藻酸钠的一种或几种。

7.根据权利要求1所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，所述氧化剂为高氯酸钾、氯酸钾、次氯酸钾、次氯酸钠中的一种或两种。

8.根据权利要求1所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为氢氧化钠、氢氧化钾、乙醇胺中的任意一种。

9.根据权利要求1-8任一所述一种锆基复合抛光液的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

于棒销式砂磨机中按照比例依次加入研磨剂、分散剂、悬浮剂、氧化剂和去离子水进行研磨分散，棒销式砂磨机中填充氧化锆珠，控制其中搅拌棒的线速度在1.5~5 m/s之间；

添加pH调节剂，调节溶液pH值至9~11。

10.根据权利要求9所述的一种锆基复合抛光液，其特征在于，棒销式砂磨机中填充的氧化锆珠的粒径在0.1~0.5 mm之间。