[发明专利]光学滤波器

权利要求书

1.一种光学滤波器，包括：

一个或更多个第一层，以及

一个或更多个第二层，

其中，所述一个或更多个第一层以及所述一个或更多个第二层对于以大约1550nm的波长为中心的通带，在45度的入射角时提供小于大约100nm的角度偏移，或者在30度的入射角时提供小于大约30nm的角度偏移。

2.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第一层包括一层或更多层氢化锗。

3.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第一层包括一层或更多层退火的氢化锗。

4.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第二层包括一层或更多层二氧化硅。

5.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第一层对于以大约1550nm的波长为中心的通带，提供大于大约40％的透射率。

6.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第一层对于以大约1550nm的波长为中心的通带，提供大于大约80％的透射率。

7.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第一层对于以大约1550nm的波长为中心的通带，提供大于大约85％的透射率。

8.一种光学滤波器，包括：

一个或更多个第一层，所述一个或更多个第一层具有第一折射率，

所述一个或更多个第一层包括在中心波长为大约1550nm的光谱范围处具有小于0.0001的消光系数的膜，以及

一个或更多个第二层，所述一个或更多个第二层具有第二折射率。

9.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述第二折射率小于所述第一折射率。

10.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述消光系数是大约0.0006。

11.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述膜是退火的氢化锗膜。

12.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述膜具有大约4.3的折射率。

13.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述膜是大约2.5微米的单层膜。

14.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第一层还包括未氢化锗膜。

15.根据权利要求14所述的光学滤波器，其中，所述未氢化锗膜在中心波长为大约1550nm的光谱范围处与大约0.07的消光系数以及4.6的折射率相关联。

16.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第一层还包括一个或更多个氢化锗膜。

17.根据权利要求16所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个氢化锗膜包括在中心波长为大约1550nm的光谱范围处与小于0.07的消光系数以及小于4.6的折射率相关联的氢化锗膜。

18.根据权利要求8所述的光学滤波器，其中，所述一个或更多个第二层包括以下中的一种或更多种：

二氧化硅材料，

氧化铝材料，

二氧化钛材料，

五氧化二铌材料，

五氧化二钽材料，或

氟化镁材料。